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LPAR系列

重载大中空机械直驱转台

LPAR系列是大中空尺寸、高精度360度连续转台,采用旋转电机直驱控制,具备非常优秀的动态性能和定位精度,相比常规蜗轮蜗杆转台,它速度快,无齿轮间隙,有更好的定位精度和重复定位精度。LPAR系列转台采用杰出的工业化设计,选用薄壁轴承,有利于减小转动摩擦和节省空间。选用高精度圆光栅位置反馈,定位精度±3角秒,重复性小于±1.5角秒,最大水平负载可达70kg,机械性能非常突出。


LPAR系列采用大直径圆形轴承设计,系统刚性强,重复性好,重负载使用条件小也不会损失性能。配置线性放大器,带隔振实验室环境下,LPAR系列转台的在位稳定性和最小步进量小于0.05角秒。


LPAR系列转台具备灵活的配置选项,客户可选择模拟量反馈或者数字量反馈。针对半导体客户的应用要求,LPAR系列转台可以提供了旋转单元和气管选项,有效地解决了360°连续旋转绕线问题,也可加配限位限制行程。由于LPAR系列转台具备大中空、侧向高度低、定位精度和重复性好、负载能力强的特点,它被广泛使用在半导体检测和封装等场合。


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产品特点 参数规格 选型配置 产品尺寸

产品特点

硬核实力铸就卓越表现
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高精密360度连续旋转直驱转台

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结构紧凑,大中空低侧向高度,中空直径可达400mm

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重负载高精度转台

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可选数字量或模拟量高精度圆光栅位置反馈

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无刷无齿槽伺服电机直驱,转速超过150rpm

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0.05角秒最小步进(实验室环境,配置线性放大器),±1.5角秒重复性

参数规格

全方位地了解产品信息
平台型号\ModelLPAR
转台行程\Travel Range360°
中空直径 \Aperture Diameter250mm400mm
转角精度 \Accuracy (1)±3 arc sec
最小步进\Minimal Incremental Step (1)0.05 arc sec
重复性 \Repeatability (1)±1.5 arc sec
摆角\Tilt Error10 arc sec
轴跳 \Axial Error Motion5 μm
端跳 \Radial Error Motion5 μm
平台重量\Stage Mass30kg50kg
最大负载\Max Load轴向 \Axial50 kg70kg
径向 \Radial20 kg30kg
最高空载速度\ Maximum Speed (2)150rpm (900°/s)
平台材质\Material
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours

备注:

(1)适配-AS圆光栅反馈;

(2)空载指标,最高速度取决于反馈分辨率、实际负载、驱动器。

(3)默认测试点位置为台面上方25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关。


选型配置

科学搭配,精准匹配所需
产品系列反馈中空直径
LPAR-AS-250
-TTL50-400


反馈选项


-ASVPP 1伏正弦模拟量输入
-TTL50TTL 50倍细分


中空直径选项


-250中空直径250mm
-400中空直径400mm

备注:

其他中空直径可定制。


产品尺寸

精细丈量,尺寸清晰一目了然



  LPAR250

  LPAR400


  备注:

  (1)单位:mm。



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