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ART180系列
高精度机械直驱直线台
ART180系列是纳米级定位精度的运动平台，采用直线电机驱动及交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。ART180系列平台行程可以根据客户需求定制，可作为单轴运动平台使用，还可以与ART130系列水平直线平台，ART130V-5系列升降台或者RSML系列转台搭配使用，组成不同的多轴配置来满足客户应用。
ART180系列平台有较强的承载能力和驱动能力，最大水平负载30kg，侧向负载可达20kg，最大速度可达800mm/s，最大空载加速度可达2g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART180系列平台的在位稳定性3nm和最小步进量可以小于5nm。ART180系列平台是兼顾运动精度、大行程、高动态性能和较强带载能力的综合性纳米定位平台，主要应用于通讯、表面轮廓检测、高精密贴片、组装、半导体晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序等场景，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
精巧的结构设计和保证了ART180系列平台出色的精度和动态性能，特别是在速度稳定性要求苛刻的应用中，它的优异性能得到了很好的体现。例如在扫描检测应用中，要求直线轴匀速20mm/s，运动距离130mm，ART180系列平台匀速段动态跟随误差<±100nm，能出色地完成项目任务。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
纳米级的定位精度
高动态性能（截止频率大于100Hz）
交叉滚柱导轨
灵活的配置选项（可定制不同行程）
较强的承载能力，最大水平负载30kg，最大侧向负载20kg
分辨率1nm，重复定位精度±150nm，定位精度±300nm
在位稳定性3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | ART180-160 | ART180-210 | ART180-260 | ART180-360 | |
| 有效行程\Travel | 160 mm | 210 mm | 260 mm | 360 mm | |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±300 nm | ±300 nm | ±350 nm | ±350 nm | |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±150 nm | ±150 nm | ±150 nm | ±150 nm | |
| 单向重复定位精度\Uni-Repeatability | ±45 nm | ±45 nm | ±45 nm | ±45 nm | |
| 俯仰\Pitch | 12 arc sec | 12 arc sec | 14 arc sec | 14 arc sec | |
| 横滚\Roll | 12 arc sec | 12 arc sec | 14 arc sec | 14 arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 12 arc sec | 12 arc sec | 14 arc sec | 14 arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±1.0 µm | ±1.25 µm | ±1.5 µm | ±1.75 µm | |
| 平面度\Flatness | ±1.0 µm | ±1.25 µm | ±1.5 µm | ±1.75 µm | |
| 移动部分重量\Moving Mass | 6.9kg | 8.1kg | 9.6kg | 12.5kg | |
| 平台重量\Stage Mass | 13.5kg | 15.5kg | 18.5kg | 24kg | |
| 最大水平负载\ Load Capacity | 水平\Horizontal | 30 kg | |||
| 侧向\Side | 20 kg | ||||
| 分辨率\Resolution（1） | 1 nm | ||||
| 最小步进量\Minimum Incremental step（1） | 10 nm | ||||
| 在位稳定性\In Position Stability （1） | ±10nm | ||||
| 最大速度\Maximum Speed（2） | 800 mm/s | ||||
| 最大加速度\Maximum Acceleration（2） | 1 g | ||||
| 持续推力\Continuous Force | 81.8 N | ||||
| 持续推力\Peak Force | 506.6 N | ||||
| 平台材质\Material | 铝 | ||||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||||
备注：
（1）适配-ASH反馈，线性放大器；
（2）空载，需配置相应功率的放大器；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| ART180 | -160 | -AS |
| -210 | -ASH | |
| -260 | -TTL005 | |
| -360 | -TTL010 | |
| -TTL020 |
行程选项
| -160 | 160 mm 行程 |
| -210 | 210 mm 行程 |
| -260 | 260 mm 行程 |
| -360 | 360 mm 行程 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL005 | 5 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL020 | 20 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
| 型号 BASIC MODEL | 标称行程 NOMINAL TRAVEL | A | B | C | D | E |
| ART180-160 | 160 | 325 | 250 | 180 | – | – |
| ART180-210 | 210 | 375 | 300 | 200 | – | – |
| ART180-260 | 260 | 450 | 300 | 200 | 150 | 350 |
| ART180-360 | 360 | 575 | 400 | 250 | 275 | 475 |
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示。
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