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CFTCA系列
大中空XY一体式运动平台
CFTCA系列是纳米级定位精度的XY一体式精密定位平台，采用直线电机驱动以及精密交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截至频率可达100Hz以上。CFTCA系列采用杰出的工业化设计，外观设计及几何尺寸非常合理。CFTCA-150XY全行程平面度和直线度小于±2μm，安全中空尺寸可达40mm*40mm；CFTCA-250XY全行程平面度和直线度小于±4μm，安全中空尺寸可达50mm*50mm，是光学测量检测领域的关键部件。
CFTCA系列平台在结构精致紧凑的同时具备强劲的驱动能力，上轴最大速度1000mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，CFTCA系列中空平台的在位稳定性3nm，最小步进量可以小于5nm。由于其中空特性，它主要应用在双面测量检测、生物样片加工和观测、薄膜和油墨厚度测量等需要纳米级定位精度和中空设计的工业领域与科研项目。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
XY一体式中空直驱平台
高动态性能
交叉滚柱导轨
结构紧凑，低侧面高度，阿贝误差小
150mm*150mm和250mm*250mm行程可选
分辨率1nm，重复定位精度±150nm，定位精度±300nm
在位稳定性3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | CFTCA-150XY | CFTCA-250XY |
| 有效行程\Travel | 150mm*150mm | 250mm*250mm |
| 中空尺寸\Clear Aperture | 200mm*200mm | 310mm*310mm |
| 最小安全中空尺寸\ Clear Aperture at Mechanical Travel Limit | 40mm*40mm | 50mm*50mm |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±0.3 µm | ±0.8 µm |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.15 µm | ±0.4 µm |
| 俯仰\Pitch | 15 arc sec | 20 arc sec |
| 偏摆\Yaw | 10 arc sec | 15 arc sec |
| 正交性\Orthogonality（1） | 15 arc sec | 15 arc sec |
| 直线度\Straightness | ±2 µm | ±4 µm |
| 平面度\Flatness | ±2 µm | ±4 µm |
| 平台重量\Stage Mass | 40kg | 70kg |
| 最大负载\Load Capacity | 20 kg | 40 kg |
| 分辨率\Resolution （2） | 1 nm | |
| 最小步进量\Minimum Incremental step (2) | 5nm | |
| 在位稳定性\In Position Stability (2) | 3nm | |
| 最大速度\Maximum Speed (3） | 1 m/s | |
| 最大加速度\Maximum Acceleration （3） | 1 g (Upper Axis, No Load) | |
| 持续推力\Continuous Force | 48.8N | |
| 峰值推力\Peak Force | 340.8N | |
| 平台材质\Material | 铝 | |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |
备注：
(1)经过定制2D校准后，正交性可达到 5 arc sec；
(2)适配-AS反馈，配置线性放大器；
(3)空载，需配置相应功率的放大器；
(4)默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
(5)其他行程可定制（例如：行程350mm*350mm）。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| CFTCA | -150XY | -AS |
| -250XY | -ASH | |
| -TTL005 | ||
| -TTL010 | ||
| -TTL020 | ||
| -TTL100 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL005 | 5 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL020 | 20 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL100 | 0.1μm分辨率数字量TTL信号输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
CFTCA-150XY
CFTCA-250XY
备注：
(1)单位：mm；
(2)最小中空安全尺寸未显示。
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