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CFT-XY系列
高精度XY一体式运动平台
CFT-XY是纳米级定位精度的XY一体式精密定位平台，采用直线电机直驱控制以及精密交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率最大可达100Hz以上。CFT-XY系列平台有杰出的工业化设计，外观设计及几何尺寸非常合理，同时全行程平面度和直线度小于±1.5μm。其中CFT-200XY系列平台动态性能极佳，以40mm/s的速度做直径2.2mm的圆形轨迹运动，动态跟随误差小于0.5μm， 是精密激光加工和飞拍扫描检测的首选平台。
CFT-X系列平台结构精致，有较强的驱动能力，上轴最大速度800mm/s，空载加速度可达1g。采用线性放大器和ASH反馈，实验室环境做好振动隔离的前提下，CFT-XY系列平台的在位稳定性小于3nm，最小步进量小于5nm，可用于测量检测、表面粗糙度检测、激光切割等需要纳米级定位精度的工业和科研项目。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
XY一体式设计直驱平台
双轴四电机驱动，动态性能出色
交叉滚柱导轨
结构紧凑，低侧面高度，阿贝误差小
200mm*200mm和300mm*300mm行程可选
分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±300nm
在位稳定性3nm
（配置ASH反馈选项和线性放大器）
多种反馈选项
参数规格
全方位地了解产品信息
| 型号 | CFT-200XY | CFT-300XY |
| 有效行程\Travel | 200mm*200mm | 300mm*300mm |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±0.3 μm | ±0.5 μm |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.1 μm | ±0.15 μm |
| 俯仰\Pitch | 15 arc sec | 18 arc sec |
| 偏摆\Yaw | 8 arc sec | 10 arc sec |
| 直线度\Straightness | ±1.5 μm | ±2 μm |
| 平面度\Flatness | ±1.5 μm | ±2 μm |
| 正交性\Orthogonality (1) | 15 arc sec | 15 arc sec |
| 最大速度\Maximum Speed （2） | 800 mm/s | 800 mm/s |
| 最大加速度\Maximum Acceleration （2） | 1.5 g | 1.5 g |
| 持续推力\Continuous Force | 48.8 N | 163.6 N |
| 峰值推力\Peak Force | 340.8 N | 1013.2 N |
| 最大负载\Load Capacity | 20 kg | 30 kg |
| 平台重量\Stage Mass(No Motor) | 27.9 kg | 70 kg |
| 电子分辨率\Resolution （3） | 1 nm | |
| 最小步进量\Minimum Incremental step（3） | 5 nm | |
| 在位稳定性\In Position Stability （3） | 3 nm | |
| 平台材质\Material | 铝 | |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |
备注：
（1）经过定制2D校准后，正交性可达到 5 arc sec；
（2）空载，需配置相应功率的放大器；
（3）适配-ASH反馈，线性放大器；
（4）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（5）其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| CFT-XY | -200XY | -AS |
| -300XY | -ASH | |
| -TTL005 | ||
| -TTL010 | ||
| -TTL020 | ||
| -TTL100 |
行程选项
| -200XY | 200mmx200mm行程 |
| -300XY | 300mmx300mm行程 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL005 | 5 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL020 | 20 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL100 | 0.1μm分辨率数字量TTL信号输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
CFT-200XY
CFT-300XY
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆管理未显示。
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