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FLAT-XY系列
超低高度XY一体式运动平台
FLAT-XY系列是纳米级定位精度的XY一体式运动平台，采用直线电机驱动以及交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。它采用XY一体式设计，具有低侧面高度、阿贝误差小的特点，XY行程可以根据客户需求定制，可作为二维运动平台单独使用，也可以与VC60-5、ART130V-5升降台或者RSML系列转台搭配使用，组成不同的多轴配置来满足客户应用。
FLAT-XY系列平台在结构紧凑的同时具备强劲的驱动能力，双轴高度仅有45mm，最大速度可达500mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，FLAT-XY系列平台的在位稳定性可达3nm，最小步进量可以小于5nm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及激光微纳加工等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
精巧的结构设计保证了FLAT-XY系列平台出色的精度和动态性能，特别是在速度稳定性要求苛刻的应用中，它的优异性能得到了很好的体现。例如在扫描检测应用中，要求直线轴匀速20mm/s，FLAT-XY系列平台匀速段动态跟随误差<±100nm，能出色地完成项目任务。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
纳米级的定位精度
高动态性能
（截止频率大于100Hz）
交叉滚柱轴承
灵活的配置选项
（XY可定制不等距行程）
低侧面高度，XY一体式设计
分辨率1nm，重复定位精度±150nm，定位精度±250nm
在位稳定性3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | FLAT-100XY | |
| 有效行程\Travel | 100mm*100mm | |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±300nm | |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±150nm | |
| 俯仰\Pitch | 12arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 12arc sec | |
| 正交性\Orthogonality | 15arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±2µm | |
| 平面度\Flatness | ±2µm | |
| 移动部分重量\Moving Mass | 上轴\Upper | 1.7kg |
| 下轴\Lower | 4.4kg | |
| 平台重量\Stage Mass | 6.1 kg | |
| 最大负载\Load Capacity | 12.0kg | |
| 分辨率\Resolution | 1nm | |
| 最小步进量\Minimum Incremental step（1） | 5 nm | |
| 在位稳定性\In Position Stability （1） | 3 nm | |
| 最大速度\Maximum Speed（2） | 500mm/s | |
| 最大加速度\Maximum Acceleration（2） | 1g | |
| 持续推力\Continuous Force | 上轴\Upper | 19 N |
| 下轴\Lower | 21 N | |
| 峰值推力\Peak Force | 上轴\Upper | 133 N |
| 下轴\Lower | 147 N | |
| 平台材质\Material | 钢+镀镍 | |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |
备注：
（1）适配-ASH反馈，线性放大器；
（2）空载，需配置相应功率的放大器；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| FLAT-XY | -100XY | -AS |
| -ASH | ||
| -TTL005 | ||
| -TTL010 | ||
| -TTL020 |
行程选项
| -100XY | 100mm X 100mm行程 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL005 | 5 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL020 | 20 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
备注：
(1)单位：mm；
(2)线缆接头未显示。
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