.png)
.png)
ART95XYZ系列
XYZ三轴机械直驱平台
ART95XYZ系列是纳米级定位精度的XYZ一体式运动平台，采用直线电机驱动以及交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。采用XYZ一体设计，具有精度高、尺寸小、集成度高的特点，XYZ行程可以根据客户需求定制。它可以作为三维运动平台单独使用，还可以与RSML系列转台搭配使用，组成不同的多轴配置来满足客户应用。
ART95XYZ系列平台在结构紧凑的同时具备强劲的驱动能力，最大速度可达200mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART95XYZ系列平台的在位稳定性可达3nm，最小步进量可以小于5nm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及光学领域光路对准等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
精巧的结构设计保证了ART95XYZ系列出色的精度和动态性能，特别是在速度稳定性要求苛刻的应用中，它的优异性能得到了很好的体现。
手册下载
获取报价
产品特点
硬核实力铸就卓越表现
纳米级的定位精度
零摩擦气缸配重，高动态性能
（截止频率大于100Hz）
交叉滚柱导轨
灵活的配置选项
（不同的行程和反馈）
结构紧凑，XYZ一体式设计
分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±200nm
在位稳定性3nm
（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | ART95XYZ-025-025-025 | ART95XYZ-050-050-025 |
| 有效行程\Travel | 25mm*25mm*25mm | 50mm*50mm*25mm |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±200nm | |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±100nm | |
| 单向重复定位精度\Uni-Repeatability | ±45 nm | |
| 俯仰\Pitch | 10arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 5arc sec | |
| 正交性\Orthogonality | 5arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±3 µm | |
| 平面度\Flatness | ±3 µm | |
| 平台重量\Stage Mass | 5.0 kg | 5.0 kg |
| 最大负载\Load Capacity | 4.0 kg | 6.0 kg |
| 分辨率\Resolution (1) | 1nm | |
| 最小步进量\Minimum Incremental step (1) | 5 nm | |
| 在位稳定性\In Position Stability (1) | 3nm | |
| 最大速度\Maximum Speed (2) | 200mm/s | |
| 最大加速度\Maximum Acceleration (2) | 1g | |
| 最大持续推力\Maximum Continuous Force | 21N | |
| 最大峰值推力\Maximum Peak Force | 147N | |
| 平台材质\Material | 铝 | |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |
备注：
（1）适配-ASH反馈，线性放大器；
（2）空载，需配置相应功率的放大器；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮 气。气压根据平台实际负载重量可调。
（5））其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| ART95XYZ | 025-025-025 | -AS |
| 050-050-025 | -ASH | |
| -TTL005 | ||
| -TTL010 | ||
| -TTL020 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL005 | 5 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL020 | 20 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
ART95XYZ-025-025-025
ART95XYZ-050-050-025
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示。
相关产品
需要工程师帮助选型或者获取报价?
联系我们，打造你的定制化精密运动解决方案
即刻留言
提交表单