FAP系列
六轴光纤对准平台
FAP系列平台是由高精度ART95系列直线纳米运动平台与ART130-20G系列直驱摆台集合而成的六自由度串行结构,具备非常优秀的动态性能和定位精度,空载截止频率最大可达100Hz以上。FAP系列多轴平台采用杰出的工业化设计,外观精致小巧,可以实现3~6个自由度的纳米级定位。针对复杂的多轴耦合或者封装,可实现全方位的高精密位移和角度调整,为客户应用提供完整的耦合对准解决方案,是光子器件大批量制造和组装的基础。
随着新型硅光子学器件的对准公差越来越小,对高效率和高精度对准的需求越来越强,FAP系列直驱平台可以兼顾高效率和高精度。FAP系列平台能够实现低至5 nm的最小步进,速度高达400 mm/s,配以功率计能量模拟量输入控制与寻光算法、合适的轴数、行程配置以及工装夹具设计,很好地满足了下一代光子学封装耦合对准的需求。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
基于高性能ART系列纳米平台集成
3~6个轴串联运动
所有轴非接触式直驱形式提升产能
直线轴最小步进为5 nm,转轴最小步进为0.05 arcsec
多种配置和选项灵活搭配
配置工业标准能量计的模拟输入接口
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | FAP-X25-Y25-Z25 | FAP-X50-Y50-Z25 |
| 行程 \Travels | 25mm*25mm*25mm | 50mm*50mm*25mm |
| 绝对定位精度 \Accuracy(1) | ±300nm | ±300nm |
| 双向重复性 \Bidirectional Repeatability(1) | ±150nm | ±150nm |
| 最小步进 \Minimum Incremental Motion(1) | 5nm | 5nm |
| 平台重量 \Load Capacity | 5.0 kg | 6.0 kg |
| 最大负载\Load Capacity | 4.0 kg | 6.0 kg |
| 最大速度 \Maximum Speed | 200mm/s | 400mm/s |
| 平台材质\Material | 铝 | |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |
| 平台型号\Model | FAP-R | FAP-P12 | FAP-T12 |
| 行程 \Travels | 20°/XXX° | 12° | 12° |
| 绝对定位精度 \Accuracy(1) | ±2arcsec | ±10arcsec | ±18arcsec |
| 双向重复性 \Bidirectional Repeatability(1) | ±1arcsec | ±2arcsec | ±4arcsec |
| 最小步进 \Minimum Incremental Motion(1) | 0.1 arcsec | 0.1arcsec | 0.2arcsec |
| 平台重量 \Load Capacity | 7.5 kg(3) | 8.0 kg(4) | 9.0kg(5) |
| 最大轴向负载\Load Capacity | 2.0 kg | 1.5 kg | 1.5kg |
| 最大速度 \Maximum Speed | 150°/s | 150°/s | 150°/s |
| 平台材质\Material | 铝 | ||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||
备注:
(1)适配-AS反馈;
(2)默认测试点位置为台面上方20mm处;
(3)默认带-X50-Y50-Z25选项;
(4)默认带-X50-Y50-Z25、-R选项;
(5)默认带-X50-Y50-Z25、-P、-T选项;
(6)需配置线性放大器。
选型配置
科学搭配,精准匹配所需
| 产品系列 | 行程(mm 或 °) | 反馈 |
| FAP | -X25 | -AS |
| -X50 | ||
| -Y25 | ||
| -Y50 | ||
| -Z25 | ||
| -R20 | ||
| -RXXX | ||
| -P12 | ||
| -T12 |
行程选项
| -X25 | X轴25 mm 行程 |
| -X50 | X轴50 mm 行程 |
| -Y25 | Y轴25 mm 行程 |
| -Y50 | Y轴50 mm 行程 |
| -Z25 | Z轴25 mm 行程 |
| -R20 | R轴20° 行程 |
| -RXXX | R轴 定制行程,XXX为客户指定 |
| -P12 | P轴12° 行程 |
| -T12 | T轴12° 行程 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
产品尺寸
精细丈量,尺寸清晰一目了然

备注:
(1)单位:mm;
(2)线缆接头未显示。
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