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FAP系列

六轴光纤对准平台

FAP系列平台是由高精度ART95系列直线纳米运动平台与ART130-20G系列直驱摆台集合而成的六自由度串行结构,具备非常优秀的动态性能和定位精度,空载截止频率最大可达100Hz以上。FAP系列多轴平台采用杰出的工业化设计,外观精致小巧,可以实现3~6个自由度的纳米级定位。针对复杂的多轴耦合或者封装,可实现全方位的高精密位移和角度调整,为客户应用提供完整的耦合对准解决方案,是光子器件大批量制造和组装的基础。


随着新型硅光子学器件的对准公差越来越小,对高效率和高精度对准的需求越来越强,FAP系列直驱平台可以兼顾高效率和高精度。FAP系列平台能够实现低至5 nm的最小步进,速度高达400 mm/s,配以功率计能量模拟量输入控制与寻光算法、合适的轴数、行程配置以及工装夹具设计,很好地满足了下一代光子学封装耦合对准的需求。


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产品特点 参数规格 选型配置 产品尺寸

产品特点

硬核实力铸就卓越表现
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基于高性能ART系列纳米平台集成

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3~6个轴串联运动

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所有轴非接触式直驱形式提升产能

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直线轴最小步进为5 nm,转轴最小步进为0.05 arcsec

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多种配置和选项灵活搭配

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配置工业标准能量计的模拟输入接口

参数规格

全方位地了解产品信息


平台型号\ModelFAP-X25-Y25-Z25FAP-X50-Y50-Z25
行程 \Travels25mm*25mm*25mm50mm*50mm*25mm
绝对定位精度 \Accuracy(1)±300nm±300nm
双向重复性 \Bidirectional Repeatability(1)±150nm±150nm
最小步进 \Minimum Incremental Motion(1)5nm5nm
平台重量 \Load Capacity5.0 kg6.0 kg
最大负载\Load Capacity4.0 kg6.0 kg
最大速度 \Maximum Speed200mm/s400mm/s
平台材质\Material
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours



平台型号\ModelFAP-RFAP-P12FAP-T12
行程 \Travels20°/XXX°12°12°
绝对定位精度 \Accuracy(1)±2arcsec±10arcsec±18arcsec
双向重复性 \Bidirectional Repeatability(1)±1arcsec±2arcsec±4arcsec
最小步进 \Minimum Incremental Motion(1)0.1 arcsec0.1arcsec0.2arcsec
平台重量 \Load Capacity7.5 kg(3)8.0 kg(4)9.0kg(5)
最大轴向负载\Load Capacity2.0 kg1.5 kg1.5kg
最大速度 \Maximum Speed150°/s150°/s150°/s
平台材质\Material
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours

备注:

(1)适配-AS反馈;

(2)默认测试点位置为台面上方20mm处;

(3)默认带-X50-Y50-Z25选项;

(4)默认带-X50-Y50-Z25、-R选项;

(5)默认带-X50-Y50-Z25、-P、-T选项;

(6)需配置线性放大器。


选型配置

科学搭配,精准匹配所需
产品系列行程(mm 或 °)反馈
FAP-X25-AS
-X50
-Y25
-Y50
-Z25
-R20
-RXXX
-P12
-T12


行程选项


-X25X轴25 mm 行程
-X50X轴50 mm 行程
-Y25Y轴25 mm 行程
-Y50Y轴50 mm 行程
-Z25Z轴25 mm 行程
-R20R轴20° 行程
-RXXXR轴 定制行程,XXX为客户指定
-P12P轴12° 行程
-T12T轴12° 行程


反馈选项


-ASVPP 1伏正弦模拟量输入


产品尺寸

精细丈量,尺寸清晰一目了然

备注:

(1)单位:mm;

(2)线缆接头未显示。



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