.png)
.png)
ART130SZ系列
双气缸Z向运动机械台
ART130SZ系列是纳米级定位精度的垂直运动平台，采用直线电机驱动以及交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。
ART130SZ系列平台采用超薄设计，能有效节省安装空间，是ART130系列水平运动纳米运动台的有效补充。平台采用双气缸平衡设计，通过气缸平衡负载重量，能有效避免电机长时间工作发热现象，是高刚性和高可靠性的Z向纳米运动平台的首选。
ART130SZ系列平台在结构紧凑的同时具备强劲的驱动能力，最大速度可达500mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART130SZ系列平台的在位稳定性可达3nm，最小步进量可以小于5nm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及激光微纳加工等场景，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
手册下载
获取报价
产品特点
硬核实力铸就卓越表现
纳米级的定位精度
双气缸配重，高动态性能
（截止频率大于100Hz）
交叉滚柱导轨
灵活的配置选项
（可定制不同行程）
分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±250nm
在位稳定性3nm
（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | ART130SZ-035 | ART130SZ-060 | ART130SZ-110 | ART130SZ-160 |
| 有效行程\Travel | 35mm | 60mm | 110 mm | 160 mm |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±250nm | ±250nm | ±300 nm | ±300 nm |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±100 nm | ±100 nm | ±150 nm | ±150 nm |
| 单向重复定位精度\Uni-Repeatability | ±45 nm | ±45 nm | ±45 nm | ±45 nm |
| 俯仰\Pitch | 10 arc sec | 10 arc sec | 12arc sec | 12 arc sec |
| 偏摆\Yaw | 10 arc sec | 10 arc sec | 10 arc sec | 10 arc sec |
| 直线度\Straightness | ±2.0 µm | ±2.0 µm | ±2.0 µm | ±2.5 µm |
| 平面度\Flatness | ±2.0 µm | ±2.0 µm | ±2.0 µm | ±2.5 µm |
| 移动部分重量\Moving Mass | 1.4kg | 1.6kg | 2.2kg | 2.6kg |
| 平台重量\Stage Mass | 2.7 kg | 3.1 kg | 4.2 kg | 4.9 kg |
| 最大负载\Load Capacity(竖直\Vertical) | 12 kg | |||
| 分辨率\Resolution （1） | 1nm | |||
| 最小步进量\Minimum Incremental step （1） | 5nm | |||
| 在位稳定性\In Position Stability （1） | 3nm | |||
| 最大速度\Maximum Speed （2） | 500 mm/s | |||
| 最大加速度\Maximum Acceleration （2） | 1 g | |||
| 持续推力\Continuous Force | 24.4 N | |||
| 峰值推力\Peak Force | 170.4 N | |||
| 平台材质\Material | 铝 | |||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |||
备注：
（1）适配-ASH反馈，线性放大器；
（2）空载，需配置相应功率的放大器；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。
（5）其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| ART130SZ | -030 | -AS |
| -060 | -ASH | |
| -110 | -TTL005 | |
| -160 | -TTL010 | |
| -TTL020 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL005 | 5 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL020 | 20 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
| 型号 BASIC MODEL | 标称行程 NOMINAL TRAVEL | A1 | A2 | B |
| ART130SZ-035 | 35 | 155 | 204 | 150 |
| ART130SZ-060 | 60 | 180 | 236 | 150 |
| ART130SZ -110 | 110 | 230 | 340 | 100200 |
| ART130SZ-160 | 160 | 280 | 405 | 100200 |
ART130SZ-035
ART130SZ-060/ART130SZ-110
ART130SZ-160
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示。
相关产品
需要工程师帮助选型或者获取报价?
联系我们，打造你的定制化精密运动解决方案
即刻留言
提交表单