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SMH-V系列
大行程直驱升降台
SMH-V系列是纳米级定位精度托举运动Z向平台，包括SMH115V-010、SMH165V-020、SMH190V-035和SMH225V-050等，对应行程分别是12mm、22mm、37mm和52mm。作为ART130XY和SMH-LM系列水平运动平台的有效补充，SMH-V系列升降台具有尺寸紧凑、侧向高度低、定位精度和重复性优良、最小步进精度量小、承载能力强和步进稳定时间短等优点。SMH-V系列升降台采用巧妙的机械设计，在保证精度和承载能力的同时，可以有效节省安装空间。
SMH-V系列升降台在结构紧凑的同时，具备强劲的驱动能力，最大负载可达60kg。配置线性放大器，在带隔振实验室环境下，SMH-V系列平台的在位稳定性和最小步进量可以小于20nm，重复性优于±200nm。主要应用于半导体领域的晶圆缺陷检测、光学透镜检测、生物医疗和精密加工等领域，可以根据客户的应用，在不大幅增加平台高度的前提下提供抱闸和断电自锁选项，也可以根据客户需求定制更大行程和更强承载能力的高精密升降台。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
长行程低高度升降台
较强的承载能力
（最高负载超过60kg）
灵活的配置选项
（可选不同行程，可选断电自锁）
最小步进20nm，重复定位精度±200nm，定位精度±500nm
在位稳定性20nm
（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | SMH115V-010 | SMH165V-020 | SMH190V-035 | SMH225V-050 |
| 有效行程\Travel | 12 mm | 22 mm | 37 mm | 52 mm |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±500 nm | ±500 nm | ±500 nm | ±500 nm |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±200 nm | ±200 nm | ±200 nm | ±200 nm |
| 俯仰\Pitch | 10 arc sec | 10 arc sec | 10 arc sec | 13 arc sec |
| 偏摆\Yaw | 10 arc sec | 10 arc sec | 10 arc sec | 13 arc sec |
| 直线度\Straightness（1） | ±3.0 µm | ±3.0 µm | ±4.0 µm | ±5.0 µm |
| 平台重量\Stage Mass | 1.7 kg | 6 kg | 11 kg | 18 kg |
| 最大负载\Load Capacity（2） | 15 kg | 20 kg | 40 kg | 60 kg |
| 分辨率\Resolution（3） | 10 nm | |||
| 在位稳定性\In Position Stability （2） | 20 nm | |||
| 最小步进量\Minimum Incremental step（3） | 20 nm | |||
| 最大速度\Maximum Speed（4） | 15 mm/s | 15 mm/s | 15 mm/s | 15 mm/s |
| 平台材质\Material | 铝 | |||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |||
| 平台型号\Model | SMH115V-025 | SMH165V-070 | SMH165V-095 |
| 有效行程\Travel | 25 mm | 70 mm | 95 mm |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±500 nm | ±800 nm | ±1000 nm |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±200 nm | ±400 nm | ±500 nm |
| 俯仰\Pitch | 13 arc sec | 15 arc sec | 20 arc sec |
| 偏摆\Yaw | 13 arc sec | 15 arc sec | 20 arc sec |
| 直线度\Straightness（1） | ±4 µm | ±6 µm | ±9 µm |
| 平台重量\Stage Mass | 2.6 kg | 11 kg | 13 kg |
| 最大负载\Load Capacity（2） | 15 kg | 20 kg | 20 kg |
| 分辨率\Resolution（3） | 10 nm | ||
| 在位稳定性\In Position Stability （2） | 20 nm | ||
| 最小步进量\Minimum Incremental step（3） | 20 nm | ||
| 最大速度\Maximum Speed（4） | 15 mm/s | 15 mm/s | 15 mm/s |
| 平台材质\Material | 铝 | ||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||
备注：
（1）平行或垂直于运动方向测量；
（2）沿轴线方向受力；
（3）适配-AS反馈，配置线性放大器；
（4）空载测试；
（5）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（6）其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 反馈 |
| SMH115V-010 | -AS |
| SMH165V-020 | |
| SMH190V-035 | |
| SMH225V-050 | |
| SMH115V-025 | |
| SMH165V-070 | |
| SMH165V-095 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
SMH115V-010
SMH165V-020
SMH190V-035
SMH225V-050
SMH115V-025
SMH165V-070
SMH165V-095
备注：
（1）单位：mm。
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