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ONEXY系列
高负载高刚性XY一体式运动平台
ONEXY系列是纳米级定位精度的XY一体式精密运动平台，采用直线电机驱动以及开放式结构，具备非常优秀的性能和定位精度，空载截止频率可达120Hz以上。ONEXY系列采用杰出的工业化设计，外观设计及几何尺寸非常合理。例如，ONEXY-250-250负载能力可以达到45kg，全行程平面度和直线度小于±2μm，是一款兼顾重负载和高精度的XY平台，可以与Surface-Z聚焦升降台、Surface-Theta微调转台组成多轴配置来满足客户应用。
ONEXY系列平台结构紧凑，有较强的驱动能力，下轴采用双电机驱动，上下轴空载最大速度均可达到2000mm/s，空载加速度可达2g。ONEXY系列平台具备丰富的行程选项，有250mm*250mm、350mm*350mm和500mm*500mm三种选择，电子分辨率1nm，最小步进小于20nm。它兼顾了大行程、高精度、重负载、低侧向高度等所有优点，主要应用在测量、晶圆检测、表面粗糙度检测、激光切割等需要纳米级定位精度的工业领域和科研项目。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
开放式结构，XY一体式设计直驱平台
底轴双电机驱动，动态性能出色
更好的几何性能和更高的承载能力
低侧面高度，阿贝误差小
最大行程范围可达500mm*500mm
重复定位精度±200nm，定位精度±500nm
多种反馈选项（零膨胀光栅尺可选）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | ONEXY-250-250 | ONEXY-350-350 | ONEXY-500-500 | |
| 有效行程\Travel | 250mm*250mm | 350mm*350mm | 500mm*500mm | |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±0.5 μm | ±0.75 μm | ±0.75 μm | |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.2 μm | ±0.2 μm | ±0.2 μm | |
| 俯仰\Pitch | 9 arc sec | 11 arc sec | 18 arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 9 arc sec | 11 arc sec | 18 arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±2 μm | ±2.5 μm | ±3 μm | |
| 平面度\Flatness | ±2 μm | ±2.5 μm | ±3.5 μm | |
| 正交性\Orthogonality | 10 arc sec | 12 arc sec | 15 arc sec | |
| 最大速度\Maximum Speed（1） | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | |
| 最大加速度\Maximum Acceleration（1） | 2.0 g | 2.0 g | 2.0 g | |
| 持续推力\Continuous Force | 上轴 | 112 N | 112 N | 112 N |
| 下轴 | 224 N | 224 N | 224 N | |
| 最大负载\Load Capacity | 45 kg | 45 kg | 45 kg | |
| 平台重量\Stage Mass(No Motor) | 35 kg | 45 kg | 65 kg | |
| 最小步进量\Minimum Incremental step（2） | 20 nm | |||
| 在位稳定性\In Position Stability （2） | ±10 nm | |||
| 平台材质\Material | 铝 | |||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |||
备注：
（1）空载，需配置相应功率的放大器；
（2）适配-AS反馈，以及线性放大器；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）其他行程可定制（例如：300mm*250mm）。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| ONEXY | ONEXY-250-250 | -AS |
| ONEXY-350-350 | -ASH | |
| ONEXY-500-500 | -TTL005 | |
| -TTL010 | ||
| -TTL020 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL005 | 5 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL020 | 20 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
电缆管理选项
| -CMS0 | 无电缆管理，仅留出电机反馈接口 |
| -CMS1 | 客户拖链预留一根直径4mm气管、两根根直径4mm线缆 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
ONEXY-250-250
ONEXY-350-350
ONEXY-500-500
备注：
（1）单位：mm。
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