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ART95XY系列
XY一体式运动平台
ART95XY系列是纳米级定位精度的XY一体式运动平台，采用直线电机驱动及交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。采用XY一体设计，具有低侧面高度、阿贝误差小的特点，XY行程可以根据客户需求定制，可作为二维运动平台单独使用，也可以与ART95LZ系列升降台或者RSML系列转台搭配使用，组成不同的多轴配置来满足客户应用。
ART95XY系列平台在结构紧凑的同时具备强劲的驱动能力，最大空载速度可达500mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART95XY系列平台的在位稳定性可达3nm和最小步进量可以小于5nm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及光学领域的光路对准等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
精巧的结构设计保证了ART95XY系列出色的精度和动态性能，特别是在速度稳定性要求苛刻的应用中，其优异性能得到了很好的体现。例如在扫描检测应用中，要求直线轴匀速20mm/s， ART95XY系列平台匀速段动态跟随误差小于±100nm，有很好的速度稳定性，能够出色地完成项目任务。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
纳米级的定位精度
高动态性能（截止频率大于100Hz）
交叉滚柱导轨
灵活的配置选项（XY可定制不等距行程）
结构紧凑，XY一体式设计
分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±150nm
在位稳定性3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | ART95XY-025-025 | ART95XY-050-050 | |
| 有效行程\Travel | 25mm*25mm | 50mm*50mm | |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±150 nm | ||
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±100 nm | ||
| 单向重复定位精度\Uni-Repeatability | ±45 nm | ||
| 俯仰\Pitch | 10 arc sec | ||
| 偏摆\Yaw | 10 arc sec | ||
| 正交性\Orthogonality（1） | 10 arc sec | ||
| 直线度\Straightness | ±1.5 µm | ±2.0 µm | |
| 平面度\Flatness | ±1.5 µm | ±2.0 µm | |
| 移动部分重量\Moving Mass | 上轴\Upper | 0.5 kg | 0.8 kg |
| 下轴\Lower | 1.2 kg | 2.1 kg | |
| 平台重量\Stage Mass | 2.0 kg | 3.2 kg | |
| 最大负载\Load Capacity | 6.0 kg | 6.0 kg | |
| 分辨率\Resolution（2） | 1 nm | ||
| 最小步进量\Minimum Incremental step（2） | 5 nm | ||
| 在位稳定性\In Position Stability （2） | 3 nm | ||
| 最大速度\Maximum Speed（3） | 500 mm/s | ||
| 最大加速度\Maximum Acceleration（3） | 1 g | ||
| 最大持续推力\Maximum Continuous Force | 21 N | ||
| 最大峰值推力\Maximum Peak Force | 147 N | ||
| 平台材质\Material | 铝 | ||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||
备注：
（1）经过定制2D校准后，正交性可达到 5 arc sec；
（2）适配-ASH反馈，线性放大器；
（3）空载，需配置相应功率的放大器；
（4）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（5）其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| ART95XY | -025-025 | -AS |
| -050-050 | -ASH | |
| -TTL005 | ||
| -TTL010 | ||
| -TTL020 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL005 | 5 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL020 | 20 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
ART95XY-025-025
ART95XY-050-050
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示。
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