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ART130XY系列

XY直线电机机械台

ART130XY系列是纳米级定位精度的XY一体式运动平台，采用直线电机驱动及交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。它采用XY一体式设计，具有低侧面高度、阿贝误差小的特点，XY行程可以根据客户需求定制，可作为二维运动平台单独使用，也可以与ART130LZ、ART130-5V升降台或者RSML系列转台搭配使用，组成不同的多轴配置来满足客户应用。


ART130XY系列平台在结构紧凑的同时具备强劲的驱动能力，最大速度可达500mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART130XY系列平台的在位稳定性3nm和最小步进量可以小于5nm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及激光微纳加工等场景，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

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产品性能 参数规格 选型配置 产品尺寸

产品性能

硬核实力铸就卓越表现
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纳米级的定位精度

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高动态性能
（截止频率大于100Hz）

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交叉滚柱轴承

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灵活的配置选项
（XY可定制不等距行程）

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结构紧凑，XY一体式设计

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分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±250nm

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在位稳定性3nm
（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）

参数规格

全方位地了解产品信息
有效行程\Travel60mm*60mm110mm*110mm160mm*160mm
绝对定位精度Accuracy±250 nm±300nm±300nm
双向重复定位精度\Bi-Repeatability±100nm±100nm±100nm
单向重复定位精度\Uni-Repeatability±45 nm±45 nm±45 nm
俯仰\Pitch10 arc sec12 arc sec18 arc sec
偏摆\Yaw10 arc sec12 arc sec18 arc sec
正交性\Orthogonality(1)10arc sec10 arc sec10 arc sec
直线度\Straightness±1.5 μm±2μm±2.5 μm
平面度\Flatness±1.5 μm±2μm±2.5 μm
移动部分重量Moving Mass(上轴\Upper)1.7kg2.3 kg2.6kg
移动部分重量Moving Mass(下轴\Lower)4.4 kg5.9 kg7.1 kg
平台重量\Stage Mass6.1 kg7.9 kg9.4 kg
最大负载\Load Capacity12.0 kg12.0 kg12.0 kg
分辨率\Resolution1nm1nm1 nm
最小步进量\Minimum Incremental Step(2)5nm5nm5nm
在位稳定性\n Position Stability(2)3nm3nm3nm
最大速度\Maximum Speed(3)500mm/s500 mm/s500 mm/s
最大加速度\Maximum Acceleration (3)1g1g1g
持续推力\Continuous Force24.4 N24.4 N24.4 N
峰值推力\Peak Force170.4 N170.4 N170.4 N
平台材质\Material铝铝铝
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours27,000 Hours27,000 Hours


平台型号\model

ART130XY-110-060

ART130XY-160-060

ART130XY-160-110

ART130XY-200-070

有效行程\Travel110mm*60mm160mm*60mm160mm*110mm200mm*70mm
绝对定位精度Accuracy(上轴\Upper)±250 nm±250 nm±300 nm±250 nm
绝对定位精度Accuracy(下轴\Lower)±300 nm±300 nm±300 nm±300 nm
双向重复定位精度\Bi-Repeatability±100nm±100 nm±100 nm±100nm
单向重复定位精度\Uni-Repeatability±45 nm±45 nm±45 nm±45 nm
俯仰\Pitch10 arc sec12 arc sec14 arc sec18 arc sec
橫滚\Roll10arc sec12 arc sec14 arc sec18 arc sec
偏摆\Yaw10 arc sec12 arc sec14 arc sec18 arc sec
正交性\Orthogonality (1)10 arc sec10 arc sec10 arc sec10 arc sec
直线度\Straightness±1.5 μm±2 μm±2.5 μm±2.5 μm
平面度\Flatness±1.5 μm±2 μm±2.5 μm±2.5 μm
移动部分重量Moving Mass(上轴\Upper)1.7kg1.7kg2.3kg1.8kg
移动部分重量Moving Mass(下轴\Lower)4.4kg4.4kg5.9kg4.5 kg
平台重量\Stage Mass7.1 kg7.8kg8.7kg9.4kg
最大负载\Load Capacity10.0 kg10.0 kg10.0 kg10.0kg
分辨率\Resolution1 nm1nm1nm1 nm
最小步进量\Minimum Incremental Step (2)10 nm10 nm10 nm10 nm
在位稳定性\n Position Stability(2)+10 nm+10 nm+10 nm+10nm
最大速度\Maximum Speed(3)350mm/s350 mm/s350 mm/s350mm/s
最大加速度\Maximum Acceleration3)1g1g1g1g
持续推力\Continuous Force24.4 N24.4 N24.4 N24.4 N
峰值推力\PeakForce170.4 N170.4 N170.4 N170.4 N
平台材质\Material铝铝铝铝
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours27,000 Hours27,000 Hours27,000 Hours

备注：

（1）经过定制2D校准后，正交性可达到 5 arc sec；

（2）适配-ASH反馈，线性放大器；

（3）空载，需配置相应功率的放大器；

（4）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；

（5）其他行程可定制。


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选型配置

科学搭配，精准匹配所需
产品系列ART130XY
行程（mm）-060-060、-110-110、-160-160、-110-060、-160-060、-160-110、-200-070
行程选项-060-060:60mmX60mm行程110mmX110mm行程-160-160:160mmX160mm行程
-110-060:110mmX60mm行程160mmX60mm行程-160-110:160mmX110mm行程
-200-070:200mmX70mm行程

反馈-AS、-ASH、-TTL005、-TTL010、-TTL020
反馈选项-AS：VPP1伏正弦模拟量输入-ASH：高精度VPP1伏正弦模拟量输入-TTL005：5nm分辨率数字量TTL信号输入
-TTL010：10nm分辨率数字量TTL信号输入-TTL020：20nm 分辨率数字量TTL信号输入


产品尺寸

精细丈量，尺寸清晰一目了然
型号/BASIC MODEL标称行程/NOMINAL TRAVELA1A2行程(Mm)
ART130-060-060-XY60,60180180150
ART130-110-110-XY110,110230230100,200
ART130-160-160-XY160,160280280150,250
ART130-110-060-XY110,60230180150
ART130-160-060-XY160,60280180100,200
ART130-160-110-XY160,110280230150,250
ART130-200-070-XY200,70320190150,250

Component 1.png


备注：

（1）单位:mm;
（2）线缆接头未显示;
（3）非对称XY行程图纸未显示。
（4）完整3D图纸可官网下载。


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