VC60-5系列
高精度直驱升降台
VC60-5是纳米级定位精度的托举运动升降平台,采用直线电机驱动及交叉滚柱导轨,具备非常优秀的动态性能和定位精度,空载截止频率可达120Hz以上。
VC60-5系列升降台是ART130系列水平运动平台的有效补充,可以与ART130或者ART130XY组成不同的多轴配置来满足客户应用,在一些需要快速聚焦的应用中,VC60-5的出色动态性能使其足以满足严苛的技术要求。例如,在基因测序应用中VC60-5安装350g负载以10Hz的正弦频率做20μm振幅往复运动,运动过程中动态跟随误差小于1μm,VC60-5实测数据是0.78μm,能快速准确地完成实时聚焦动作。
VC60-5系列升降台在结构紧凑小巧的同时具备强劲的驱动能力,最大速度80mm/s,空载加速度可达0.5g。配置线性放大器,带隔振实验室环境下,VC60-5平台的在位稳定性和最小步进量可以小于10nm,主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序等场景,可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
高精度音圈电机直驱升降台
高动态性能
(空载截止频率大于120Hz)
根据客户负载配重,无需供气配重
丰富的组合选项
(XZ,XYZ)
分辨率1nm,重复定位精度±150nm,定位精度±250nm
在位稳定性10nm
(配置线性驱动器,带隔振实验室环境)
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | VC60-5 |
| 有效行程\Travel | 5 mm |
| 定位精度\Accuracy | ±250 nm |
| 重复定位精度\Bi-Repeatability | ±150 nm |
| 俯仰\Pitch | 10 arc sec |
| 横滚\Roll | 10 arc sec |
| 偏摆\Yaw | 10 arc sec |
| 直线度\Straightness (1) | ±1.0 µm |
| 平台重量\Stage Mass | 760 g |
| 最大负载\Load Capacity (2) | 500 g |
| 分辨率\Resolution (3) | 1 nm |
| 最小步进量\Minimum Incremental step (3) | 10 nm |
| 在位稳定性\In Position Stability (3) | 10 nm |
| 最大速度\Maximum Speed(4) | 80 mm/s |
| 最大加速度\Maximum Acceleration(4) | 0.8 g |
| 平台材质\Material | 铝 |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours |
备注:
(1)平行或垂直于升降方向测量;
(2)沿轴线方向受力;
(3)适配-AS反馈,配置线性放大器;
(4)空载测试;
(5)默认测试点位置为台面前方25 mm。
选型配置
科学搭配,精准匹配所需
| 产品系列 | 行程(mm) | 反馈 |
| VC60 | -5 | -AS |
行程选项
| -5 | 5mm行程升降台 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
产品尺寸
精细丈量,尺寸清晰一目了然



备注:
(1)单位:mm;
(2)线缆接头未显示。
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