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VC60-5系列

高精度直驱升降台

VC60-5是纳米级定位精度的托举运动升降平台,采用直线电机驱动及交叉滚柱导轨,具备非常优秀的动态性能和定位精度,空载截止频率可达120Hz以上。


VC60-5系列升降台是ART130系列水平运动平台的有效补充,可以与ART130或者ART130XY组成不同的多轴配置来满足客户应用,在一些需要快速聚焦的应用中,VC60-5的出色动态性能使其足以满足严苛的技术要求。例如,在基因测序应用中VC60-5安装350g负载以10Hz的正弦频率做20μm振幅往复运动,运动过程中动态跟随误差小于1μm,VC60-5实测数据是0.78μm,能快速准确地完成实时聚焦动作。


VC60-5系列升降台在结构紧凑小巧的同时具备强劲的驱动能力,最大速度80mm/s,空载加速度可达0.5g。配置线性放大器,带隔振实验室环境下,VC60-5平台的在位稳定性和最小步进量可以小于10nm,主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序等场景,可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。


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产品特点 参数规格 选型配置 产品尺寸

产品特点

硬核实力铸就卓越表现
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高精度音圈电机直驱升降台

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高动态性能
(空载截止频率大于120Hz)

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根据客户负载配重,无需供气配重

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丰富的组合选项
(XZ,XYZ)

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分辨率1nm,重复定位精度±150nm,定位精度±250nm

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在位稳定性10nm
(配置线性驱动器,带隔振实验室环境)

参数规格

全方位地了解产品信息
平台型号\ModelVC60-5
有效行程\Travel5 mm
定位精度\Accuracy±250 nm
重复定位精度\Bi-Repeatability±150 nm
俯仰\Pitch10 arc sec
横滚\Roll10 arc sec
偏摆\Yaw10 arc sec
直线度\Straightness (1)±1.0 µm
平台重量\Stage Mass760 g
最大负载\Load Capacity (2)500 g
分辨率\Resolution (3)1 nm
最小步进量\Minimum Incremental step (3)10 nm
在位稳定性\In Position Stability (3)10 nm
最大速度\Maximum Speed(4)80 mm/s
最大加速度\Maximum Acceleration(4)0.8 g
平台材质\Material
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours

备注:

(1)平行或垂直于升降方向测量;

(2)沿轴线方向受力;

(3)适配-AS反馈,配置线性放大器;

(4)空载测试;

(5)默认测试点位置为台面前方25 mm。


选型配置

科学搭配,精准匹配所需
产品系列行程(mm)反馈
VC60-5-AS


行程选项


-55mm行程升降台


反馈选项


-ASVPP 1伏正弦模拟量输入


产品尺寸

精细丈量,尺寸清晰一目了然

  备注:

  (1)单位:mm;

  (2)线缆接头未显示。



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