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ZT150系列
高速晶圆螺旋检测运动系统
ZT双轴协同控制，6000rpm超高转速，ZT150高速晶圆螺旋检测运动系统专业针对半导体前道晶圆无图形检测设计，全面适配6寸/8寸/12寸全尺寸晶圆处理需求，其高转速、高动态响应能力与纳米级旋转精度，可以显著提升晶圆缺陷检测效率与精度，为半导体先进制程提供坚实的运动支撑。
T轴以ASP气浮转台为核心，采用非接触式气浮轴承，具备亚角秒级别的定位性能、极高的稳定性和高分辨率反馈。它内部的结构设计优异，能够最大限度减少轴向、径向和倾斜误差运动，在高转速下能够保持出色平面度。Z轴采用楔形块结构且中心镂空，T轴主体部分完全嵌入其中，最大限度降低系统整体高度的同时，还具备极佳的结构刚性以及承载能力。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
实测6000rpm超高转速
兼具出色的动态性能与定位精度
在高转速运动下的动平衡达G0.4级
Z轴动态聚焦
截止频率可达200Hz以上
支持5nm工艺节点检测
全面适配6寸/8寸/12寸全尺寸晶圆处理需求
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | ZT150 |
| 直线轴行程\Linear Travel | 5 mm |
| 旋转轴行程\Rotation Travel | ±360°连续 |
| 直线轴精度\ Linear Accuracy | ±0.1 μm |
| 直线轴重复定位精度\ Linear Bi-Repeatability | ±0.06 μm |
| 旋转轴精度\ Rotation Accuracy | ±1.5 arc sec |
| 旋转轴重复定位精度\ Rotation Bi-Repeatability | ±0.75arc sec |
| 直线轴俯仰\Pitch | 3 arc sec |
| 直线轴偏摆\Yaw | 3 arc sec |
| T轴向跳动\Axial Error Motion | 250nm |
| T径向跳动\Radial Error Motion | 250nm |
| ZT轴向最大负载\Axial Max Load | 5kg |
| 最大速度\Maximum Speed | 50mm/s, 5000rpm（定制可达6000rpm) |
| 在位稳定性\In Position Stability | <10nm，<0.5arcsec |
| 最小步进\Minimum Incremental step | <10nm，<0.5arcsec |
| T轴运动平面度\Flatness In Motion | 1000rpm<5um |
| T轴耗气量\Air Consumption | 18 SLPM |
| T轴供气要求\Air Requirement | 5.3bar±0.2bar，供无油污压缩空气或99.99%氮气，建议加0.25μm空气过滤器 |
| 平台重量\ Stage Mass | 25kg |
| 平台材质\Material | 铝 |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours |
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| Surface Z | -005 | -AS |
行程选项
| -005 | 5mm行程 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
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