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ZR100系列
升降旋转一体平台，多用于晶圆/生物检测
ZR100是Z/Theta 两轴一体式精密定位平台，Z轴利用双直线电机驱动以及双气缸配重，可以根据负载重量灵活调整气压。Z轴选用精密交叉滚柱导轨，具备非常优秀的性能和定位精度，空载截止频率最大可达100Hz以上，具备很好的速度稳定性。Theta轴采用旋转直驱电机，配备圆形导轨和光栅，兼具高转速和高精度。此外，Theta轴采用下沉隐藏式设计，使得ZR100整体高度较低，工作点的下降有利于保证实际应用中的精度指标。
ZR100兼具点到点的静态定位精度，同时具备非常突出的动态精度，可以适应对动态跟随误差要求严格的生物检测或者晶圆检测扫描应用。Theta轴采用32mm中空设计，可以用于白光共焦传感器通过中空进行双面检测应用，Z轴可以根据传感器聚焦高度实时高速调整，全方位解决客户的运动控制难题。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
Z轴采用双电机驱动，电机出力更均衡
Z轴和Theta轴一体设计，侧面高度低，阿贝误差小
Z轴20mm行程采用双气缸配重，Theta直驱360°
Theta轴在位稳定性和最小步进0.1角秒
（实验室环境做好隔振，线性驱动器）
Theta轴采用下沉隐藏式设计，中空直径32mm
Z轴和Theta轴都是直驱方案，具备较好的动态性能
参数规格
全方位地了解产品信息
| 轴名称 | Z | T | |
| 有效行程\Travel | 20mm | ≤360°（可定制） | |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±0.3 μm | ±2 arcsec | |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.15 μm | ±1 arcsec | |
| 俯仰\Pitch | 20 arc sec | NA | |
| 偏摆\Yaw | 10 arc sec | NA | |
| 直线度\Straightness | ±1.5 μm | NA | |
| 平面度\Flatness | ±1.5 μm | NA | |
| 最大速度\Maximum Speed （1） | 100 mm/s | 400rpm（2400°/s） | |
| 最大加速度\Maximum Acceleration （1） | 0.7 g | 2400°/s/s | |
| 持续推力\Continuous Force | 19 N | 3 NM | |
| 峰值推力\Peak Force | 133 N | 10 NM | |
| 最大负载\Load Capacity | 5 kg | ||
| 平台重量\Stage Mass(No Motor) | 6.5 kg | ||
| 分辨率\Resolution（2） | 1 nm | ||
| 最小步进量\Minimum Incremental step（2） | Z | 20 nm | |
| T | 0.5 arc sec | ||
| 平台材质\Material | 铝 | ||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||
备注:
（1）空载，需配置相应功率的放大器；
（2）适配-AS反馈，线性放大器；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。
（5）Theta轴连续旋转气滑环配置可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 名称 | 反馈 |
| ZR100 | Z | -AS |
| T | -TTL010 | |
| -TTL005 |
行程选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL010 | 10nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL005 | 5nm分辨率数字量TTL信号输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
备注：
(1)单位：mm。
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