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ART130LZ系列
单气缸Z向运动机械台
ART130LZ系列是纳米级定位精度的垂直运动平台，采用直线电机驱动以及交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。是ART130系列水平运动平台的有效补充，可以与ART130或者ART130XY系列组成不同的多轴配置来满足客户应用。
ART130LZ系列平台在结构紧凑的同时具备强劲的驱动能力，最大速度可达500mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART130LZ系列平台的在位稳定性和最小步进量可以小于10nm，平面度/直线度可达±1.5μm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及激光微纳加工等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
纳米级的定位精度
带气缸配重，动态性能优越
（截止频率大于100HZ）
交叉滚柱导轨
灵活的配置选项
（不同行程和反馈）
分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±200nm
在位稳定性3nm
（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | ART130LZ-035 | ART130LZ-060 |
| 有效行程\Travel | 35 mm | 60 mm |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±200 nm | ±300 nm |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±100 nm | ±100 nm |
| 单向重复定位精度\Uni-Repeatability | ±45 nm | ±45 nm |
| 俯仰\Pitch | 10 arc sec | 10 arc sec |
| 偏摆\Yaw | 10 arc sec | 10 arc sec |
| 直线度\Straightness | ±1.5 µm | ±2.0 µm |
| 平面度\Flatness | ±1.5 µm | ±2.0 µm |
| 移动部分重量\Moving Mass | 1.3 kg | 1.5 kg |
| 平台重量\Stage Mass | 4.5 kg | 5.5 kg |
| 最大负载\Load Capacity(竖直\Vertical) | 10 kg | |
| 分辨率\Resolution（1） | 1 nm | |
| 最小步进量\Minimum Incremental step （1） | 5 nm | |
| 在位稳定性\In Position Stability （1） | 3 nm | |
| 最大速度\Maximum Speed （2） | 200 mm/s | |
| 最大加速度\Maximum Acceleration （2） | 1 g | |
| 持续推力\Continuous Force | 24.4 N | |
| 峰值推力\Peak Force | 170.4 N | |
| 平台材质\Material | 铝 | |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |
备注：
(1)适配-ASH反馈，线性放大器；
(2)空载，需配置相应功率的放大器；
(3)默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
(4)气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。
(5)其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| ART130LZ | -035 | -AS |
| -060 | -ASH | |
| -TTL005 | ||
| -TTL010 | ||
| -TTL020 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL005 | 5 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL020 | 20 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
| 型号 BASIC MODEL | 标称行程 NOMINAL TRAVEL | 光电限位行程 ELEC LIMIT TRAVEL | 机械限位行程 MECH LIMIT TRAVEL |
| ART130LZ-035 | 35 | 41 | 45 |
| ART130LZ-060 | 60 | 66 | 70 |
AR130LZ-035
AR130LZ-060
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示。
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