基于双光子吸收的飞秒激光微纳加工系统利用双光子聚合过程对材料穿透性好、空间选择性高的特点，在包括光子晶体, 超材料, 隐身材料, 生命科学, 细胞培养支架, 微流道, 生物芯片, 微系统, 微光学, 仿生学等在内的众多国内外高端科学研究领域有着广泛的应用，此类应用需要处理100mm以内或者更小的组件，地心科技的1~3轴运动平台很符合该类激光加工的要求，直驱纳米平台可达到亚微米级分辨率和定位精度。

• 纳米级的定位精度

• 高动态性能（截止频率大于100Hz）

• 交叉滚柱导轨

• 灵活的配置选项（XY可定制不等距行程）

• 结构紧凑，XY一体式设计

• 分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±250nm

• 在位稳定性3nm

<3nm在位稳定性测试（配置线性放大器）

• 纳米级的定位精度

• 带气缸配重，动态性能优越（截止频率大于100HZ）

• 交叉滚柱导轨

• 灵活的配置选项（不同行程和反馈）

• 分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±200nm

• 在位稳定性3nm

• 可组成XYZ三轴系统

• 20度大角度直驱偏摆台

• 无刷无齿槽伺服电机，零摩擦零回差

• 高精度圆光栅位置反馈（分辨率0.1角秒）

• 高速度(150°/s)

• 在位稳定性优良（小于±0.5角秒）

• 紧凑的结构设计（自重小于1.5kg）

• 旋转半径50mm和90mm可选

• 直驱气浮平台

• 高动态性能（截止频率大于120Hz）

• 空气环绕型预负载，零摩擦

• 高刚性和重负载设计

• 分辨率1 nm，重复定位精度±0.1 μm，定位精度±0.2μm

• 气隙平均效应，直线度平面度可达±0.5μm/100mm

• 行程最可达500 mm，带线缆管理

• 高精密零膨胀光栅反馈可选