MicroL-Z系列

·MicroL-Z 是XYZ一体式设计直驱平台
·采用直线电机直接驱动，无丝杠间隙
·XY轴可以完成快速扫描和整定，Z轴具有较好的动态聚焦能力
·3轴一体设计，低侧面高度，阿贝误差小
·采用大中空设计，最大中空尺寸达到150mm*100mm
·XY行程范围115mm*75mm，Z轴行程1.5mm或5mm
·重复定位精度±0.5μm，定位精度±1.5μm
·XYZ可作为3轴整体使用，也可以单独分离Z轴

分类：生物组织结构观测及膜厚测量
品牌：Coretech

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MicroL-Z亚微米级定位精度的XYZ一体式精密定位平台，采用三轴一体式结构，可以根据客户要求分离成大中空的XY轴和单独的Z轴。MicroL-Z利用直线电机直驱控制，XY轴采用直线电机驱动，无丝杠传动环节，因此有较好的动态性能，可以完成快速扫描和整定。Z轴具有良好的动态聚焦能力，可以在150ms内完成1μm步进，整定到±150nm。

MicroL-Z系列三轴平台采用大中空设计，最大中空尺寸达到150mm*100mm，适用于生物组织结构观测和膜厚测量等应用，XY轴完成“弓”字型折返扫描的同时，Z轴还可以根据应用需求完成调焦运动，保证精准的捕捉扫描图像。在某些相机景深较短的应用中，都能快速协同步进稳定和快速聚焦，可以大大提高效率和成像质量。

轴号	X	Y	Z
有效行程\Travel	115mm	75mm	1.5mm	5mm
定位精度\Accuracy	±1.5 μm	±1.5 μm	±1 μm
重复定位精度\Bi-Repeatability	±0.5 μm	±0.5 μm	±0.5 μm
俯仰\Pitch	20 arc sec	20 arc sec	10 arc sec	20 arcsec
偏摆\Yaw	40 arc sec	40 arc sec	10 arc sec	20 arcsec
直线度\Straightness	±4 μm	±4 μm	±2 μm	±4 μm
平面度\Flatness	±4 μm	±4 μm	±2 μm	±4 μm
正交性\Orthogonality	15 arc sec		NA
最大速度\Maximum Speed1	200 mm/s		30 mm/s
最大加速度\Maximum Acceleration1	0.5 g	0.5 g	0.3 g
持续推力\Continuous Force	21 N	21 N	21 N
峰值推力\Peak Force	147 N	147 N	147 N
最大负载\Load Capacity	3 kg
平台重量\Stage Mass(No Motor)	5kg
最小步进量\Minimum Incrementa2l step	100 nm
平台材质\Material	铝
平均无故障时间\MTBF	27,000 Hours