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半导体晶圆检测与集成电路封装解决方案-传感器芯片测试
2026-06-03
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微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)芯片以及加速度、压力、角速度等物理量感知传感器、陀螺仪、惯性测量装置的测试和校准是保证其正常使用的一个重要环节。
地心科技的单轴、多轴转台配以不同线速的滑环和气路旋转单元，可提供不同运动轨迹的激励，实现传感芯片的标定和校准测试。
1.HRMS系列转台
• 带低噪音电滑环和气路旋转单元设计 • 无齿槽效应的无刷无槽大扭矩电机 • 360度连续旋转直驱转台 • 直驱电机，双轴承设计 • 高精度圆光栅位置反馈 • 转速超过1500°/s • 0.02角秒分辨率，±1角秒重复性 • 转动台面尺寸150mm，200mm和260mm可选
2.AB100/150系列转台
• Tilt/Yaw双轴直驱转台 • A轴（Tilt）限定行程110度或连续旋转, B轴（Yaw）行程360度连续旋转 • 无刷无齿槽伺服电机，速度稳定性优越 • 高精度圆光栅位置反馈 • B轴（Yaw）转速超过1000rpm • ±3 arc sec定位精度，±1 arc sec 重复性 • AB 轴一体化高刚性设计 • 可定制电滑环和气路旋转单元设计
3.G100/200镜架
• Tx/Ty/Tz两轴/三轴360度连续旋转直驱光学镜架 • 无刷无齿槽伺服电机，速度稳定性优越 • 高精度圆光栅位置反馈，角秒级别定位精度 • 内置电滑环和气路旋转单元可选 • Tip/Tilt/Yaw三轴旋转或者Tilt/Yaw两轴旋转可选 • 100mm/200mm直径大尺寸中空设计
4.ACT85LM系列平台
• 直驱电机高精度定位平台 • 高性能低成本解决方案 • 坚固的机械结构 • 灵活的配置选项（不同的行程与反馈） • 行程范围50mm到600mm • 最大速度可达2000mm/s，最大加速度可达2g • 可配置双动子，提高产能和效率 • 可选单侧或双侧线缆管理
