气浮转台通过利用气体动力学原理，实现转台与基座之间的无接触支撑，从而大大降低了摩擦和磨损，提高了转台的旋转精度和稳定性。气浮转台具有高速度、高精确度、无摩擦力、无磨损、无噪音、不需要润滑油等一系列优点，并具有卓越的速度控制性能，在精密加工、光学检测、半导体制造等领域的广泛应用。

地心科技最新推出的超高速高精度气浮转台ASP系列，有100mm和150mm两种台面尺寸可供不同应用场景选择。配备高精度圆光栅位置反馈，定位精度小于±1.5角秒，轴向和径向跳动小于250nm，机械性能非常突出。

在晶圆缺陷检测应用中，通常都需要极高的转速，同时达到极高的回转精度。使用高精度的直线电机驱动的X轴，配合直线电机驱动的气浮转台，让晶圆在高速旋转状态下进行检测，是一个非常出色的方案。

典型螺旋线运动轨迹

在晶圆做螺旋线运动时候，为了保证测量精度，就务必使图像传感器的采样点尽量保持测量均匀。由于晶圆处在旋转状态，对于转台来说，我们只能控制它转动的角速度。而要让图像传感器均匀采样，必须让图像传感器测量范围内，被测物运动的线速度均匀。这就要求运动机构不仅能准确地走出螺旋线轨迹，并且在准确的位置，具有输出特定电平的触发信号的能力。这对于运动机构的机械性能，驱控性能，同样是很大的挑战。ASP系列转台非常适合此类应用。

ASP转台实测数据