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激光直写

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激光直写技术在光通信领域主要用于光掩模版制备、光子芯片波导结构直写及平面光波导器件加工，对运动平台的动态性能、定位精度及平面几何指标要求较高。

地心科技基于ART130XY直线电机机械台和SMH-V系列直驱升降台的集成解决方案在保持亚微米级图案精度的同时，大幅提高了生产效率和良品率，为光通信器件直写光刻及激光直接成像设备提供高精度运动支撑。


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