ASP系列

·优化设计，最大限度地减少轴向、径向和倾斜误差运动
·具有出色的定位性能、速度稳定性和高分辨率反馈
·非接触式气浮轴承，有助于超精确运动性能
·最大转速5000rpm
·亚角秒级别定位精度
·小于250nm轴向和径向跳动
·可根据应用需求增加旋转单元和气管

分类：气浮转台
品牌：Coretech

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ASP是高精度气浮直驱转台，采用旋转电机直接驱动，具备非常优秀的动态性能和定位精度。除了市场领先的轴向、径向和倾斜误差运动性能外，ASP气浮转台还提供卓越的旋转绝对定位精度、重复性和负载能力，很容易集成到多轴运动系统中。

ASP转台采用杰出的工业化设计，转动台面尺寸100和150mm，也可以用户需求定制其他尺寸的台面。选用高精度圆光栅位置反馈，定位精度小于±1.5角秒，轴向和径向跳动小于250nm，机械性能非常突出。

ASP转台采用地心科技自主研发的圆形直驱电机，有较强的驱动能力和较大的扭矩，空载转速超过5000rpm。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ASP转台的在位稳定性和最小步进量小于0.5角秒。主要应用在测量检测、晶圆螺旋线检测、生物样片加工及观测、同步加速研究、精密制造、光学对准和系统校准等需要角秒级定位精度的工业领域与科研项目。

平台型号\Model		ASP100	ASP150
载物台直径\ Stage Diameter		100 mm	150 mm
转角精度\Accuracy		±1.5 arc sec	±1.5 arc sec
重复性\ Repeatability		±0.75 arc sec	±0.75 arc sec
轴跳\Axial Error Motion		250 nm	250 nm
径跳\Radial Error Motion		250 nm	250 nm
最小步进量\Minimum Incremental step1		0.5 arcsec	0.5 arcsec
在位稳定性\In Position Stability 1		0.5 arcsec	0.5 arcsec
持续扭矩\Continuous Torque		0.7 N.m	3 N.m
峰值扭矩\Maximum Torque		3 N.m	10 N.m
平台重量\Stage Mass		8 kg	13 kg
最大负载\Max Load	轴向\Axial	6 kg	10 kg
	径向\Radial	3 kg	5 kg
最高转速\ Maximum Speed1		5000rpm	5000rpm
耗气量\Air Consumption		15 SLPM	18 SLPM
供气要求\ Aire Requirement45		5.3bar±0.2bar，加小于0.25μm空气过滤器
平台材质\Material		铝
平均无故障时间\MTBF		27,000 Hours