ASP系列

ASP系列

分类:气浮转台
特点:优化设计,最大限度地减少轴向、径向和倾斜误差运动 具有出色的定位性能、速度稳定性和高分辨率反馈 非接触式气浮轴承,有助于超精确运动性能 最大转速5000rpm 亚角秒级别定位精度 小于250nm轴向和径向跳动 可根据应用需求增加旋转单元和气管
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ASP是高精度气浮直驱转台,采用旋转电机直接驱动,具备非常优秀的动态性能和定位精度。除了市场领先的轴向、径向和倾斜误差运动性能外,ASP气浮转台还提供卓越的旋转绝对定位精度、重复性和负载能力,很容易集成到多轴运动系统中。

ASP转台采用杰出的工业化设计,转动台面尺寸100和150mm,也可以用户需求定制其他尺寸的台面。选用高精度圆光栅位置反馈,定位精度小于±1.5角秒,轴向和径向跳动小于250nm,机械性能非常突出。

ASP转台采用地心科技自主研发的圆形直驱电机,有较强的驱动能力和较大的扭矩,空载转速超过5000rpm。配置线性放大器,带隔振实验室环境下,ASP转台的在位稳定性和最小步进量小于0.5角秒。主要应用在测量检测、晶圆螺旋线检测、生物样片加工及观测、同步加速研究、精密制造、光学对准和系统校准等需要角秒级定位精度的工业领域与科研项目。


平台型号\Model

ASP100

ASP150

载物台直径\ Stage Diameter

100 mm

150 mm

转角精度\Accuracy

±1.5 arc sec

±1.5 arc sec

重复性\ Repeatability   

±0.75 arc sec

±0.75 arc sec

轴跳\Axial Error Motion

250 nm

250 nm

\Radial Error Motion   

250 nm

250 nm

最小步进量\Minimum Incremental step1

0.5 arcsec

0.5 arcsec

在位稳定性\In Position Stability 1

0.5 arcsec

0.5 arcsec

持续扭矩\Continuous Torque

0.7 N.m

3 N.m

峰值扭矩\Maximum Torque   

3 N.m

10 N.m

平台重量\Stage Mass   

8 kg

13 kg

最大负载\Max Load   

轴向\Axial   

6 kg

10 kg

径向\Radial   

3 kg

5 kg

最高转速\ Maximum Speed1

5000rpm

5000rpm

耗气量\Air Consumption

15 SLPM

18 SLPM

供气要求\ Aire Requirement45

5.3bar±0.2bar,加小于0.25μm空气过滤器

平台材质\Material

平均无故障时间\MTBF

27,000 Hours


备注:

(1) 适配-AS反馈,配置线性放大器;

(2) 空载,需配置相应功率的放大器;

(3) 默认测试点位置为台面上方25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;

(4) 气缸供气需配置空滤三联件,必须清洁、干燥,过滤至0.25μm以下颗粒,建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。

(5) 为了防止空气轴承气压不足,建议安装气压开关,信号输入到运动控制器连接急停(STO)端口。

ASP-100


ASP100.png

ASP-150


ASP150.png

品配置选项


品系列

台面直径

反馈

ASP

-100

-150

-AS



反馈选项

-AS

VPP 1伏正弦模拟量输入



旋转单元选项

-RU1

1路负压气管旋转单元

-RU2

2路负压气管旋转单元

备注:-RU2 选项仅ASP150 可选

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电话:0510-68501337 传真 :  0510-68501375 邮箱:sales@coretech-revolution.com 网址:www.coretech-revolution.com 地址:无锡市新吴区锡泰路216号坤鼎未来智造园6号楼
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