| 平台型号\Model | ASML150 | ASML200 | ASML250 | ASML300 |
| 载物台直径\ Tabletop Diameter | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
| 高度\Stage Height | 85 mm | 90 mm | 105 mm | 140 mm |
| 中空尺寸\Aperture | 8 mm | 20 mm | 35 mm | 75 mm |
| 转角精度\Accuracy | ±3 arc sec | ±2 arc sec |
| 重复性\ Repeatability | ±1 arc sec | ±0.5 arc sec |
| 轴跳\Axial Error Motion | 300 nm | 250 nm |
| 径跳\Radial Error Motion | 400 nm | 300 nm |
| 最小步进量\Minimum Incremental step1 | 0.5 arc sec |
| 在位稳定性\In Position Stability 1 | 0.5 arc sec |
| 持续扭矩\Continuous Torque | 3.7 N.m | 10 N.m | 20 N.m | 35 N.m |
| 峰值扭矩\Maximum Torque | 14.6 N.m | 30 N.m | 40 N.m | 70 N.m |
| 最大负载\Max Load | 轴向\Axial | 50 kg | 100 kg | 150 kg | 200 kg |
| 径向\Radial | 25 kg | 50 kg | 75 kg | 100 kg |
| 最高转速\ Maximum Speed2 | 600 rpm | 800 rpm |
| 转台重量\ Stage Mass | 5.0 kg | 9.8 kg | 16.2 kg | 25.0 kg |
| 供气要求\ Aire Requirement45 | 80psi±5psi，加小于0.25μm空气过滤器 |
| 平台材质\Material | 铝 |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours |
备注：
(1) 适配-AS反馈，配置线性放大器；
(2) 空载，需配置相应功率的放大器；
(3) 默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
(4) 气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。
(5) 为了防止空气轴承气压不足，建议安装气压开关，信号输入到运动控制器连接急停（E-STOP）端口。
