ALP系列

ALP系列

分类:气浮转台
特点:无槽,无刷伺服直驱电机驱动 优化设计,最大限度地减少轴向、径向和倾斜误差运动 具有出色的定位性能、速度稳定性和高分辨率反馈 非接触式气浮轴承,有助于超精确运动性能 低高度扁平化设计,可带4路气管旋转单元 亚角秒级别定位精度 小于250nm轴向和径向跳动
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ALP是高精度气浮直驱转台,采用旋转电机直接驱动,具备非常优秀的动态性能和定位精度。除了市场领先的轴向、径向和倾斜误差运动性能外,ALP转台还提供卓越的旋转绝对定位精度和、重复性,高转速以及负载能力,很容易集成到多轴运动系统中。

ALP转台采用杰出的工业化设计,转动台面尺寸150mm,中空30mm,95mm厚度轻薄的设计下仍能保证高性能,选用高精度圆光栅位置反馈,定位精度小于±2角秒,轴向和径向跳动小于250nm。ALP转台采用地心科技自主研发的圆形直驱电机,尺寸灵活设计可实现1200rpm高速度。配置线性放大器,带隔振实验室环境下,ALP转台的在位稳定性和最小步进量小于0.5角秒。主要应用在尺寸测量检测、半导体检测、同步加速研究、精密制造、光学对准和系统校准等需要角秒级定位精度的工业领域与科研项目。


平台型号\ModelALP150
载物台直径\ Tabletop Diameter150 mm
高度\Stage Height95mm
中空尺寸\Aperture30mm
转角精度\Accuracy±2 arc sec
重复性\ Repeatability±1 arc sec
轴跳\Axial Error Motion250 nm
径跳\Radial Error Motion250 nm
最小步进量\Minimum Incremental step10.5 arcsecc
在位稳定性\In Position Stability 10.5 arcsec
持续扭矩\Continuous Torque3.7 N.m
峰值扭矩\Maximum Torque14.6 N.m
最大负载\Max Load轴向\Axial30 kg
径向\Radial15 kg
最高转速\ Maximum Speed21200rpm
转台重量\ Stage Mass5.5 kg
供气要求\ Aire Requirement4580psi±5psi,加小于0.25μm空气过滤器
平台材质\Material
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours

备注:

(1) 适配-AS反馈,配置线性放大器;

(2) 空载,需配置相应功率的放大器;

(3) 默认测试点位置为台面上方25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;

(4) 气缸供气需配置空滤三联件,必须清洁、干燥,过滤至0.25μm以下颗粒,建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。

(5) 为了防止空气轴承气压不足,建议安装气压开关,信号输入到运动控制器连接急停(E-STOP)端口。


ALP-150

备注:

(1)单位:mm;

(2)完整3D图纸可官网下载。


产品配置选项

产品系列台面直径反馈
ALP-150-AS
-TTL50

反馈选项

-ASVPP 1伏正弦模拟量输入
-TTL50TTL 50倍细分


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电话:0510-68501337 传真 :  0510-68501375 邮箱:sales@coretech-revolution.com 网址:www.coretech-revolution.com 地址:无锡市新吴区锡泰路216号坤鼎未来智造园6号楼
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