| Model | Surface350-350 |
| 有效行程\Travel | 350mm * 350mm |
| 定位精度\Accuracy1 | ±250 nm |
| 重复定位精度\Bi-Repeatability1 | ±100 nm |
| 俯仰\Pitch | 3 arc sec |
| 横滚\Roll | 3 arc sec |
| 偏摆\Yaw | 3 arc sec |
| 持续推力\Continuous Force | 横梁轴 | 205.5 N |
| 双驱轴 | 252.2 N*2 |
| 峰值推力\Peak Force | 横梁轴 | 1228.8 N |
| 双驱轴 | 1395 N*2 |
| 正交性\Orthogonality | 2 arc sec |
| 刚性-一阶自然频率（带载）\Stiffness, First Natural Frequency (Rated Payload) | 大于330Hz |
| 直线度\Straightness | ±1.0 µm |
| 平面度\Flatness | ±1.5 µm |
| 最大负载\Load Capacity | 30 kg |
| 分辨率\Resolution1 | 1 nm |
| 最大速度\Maximum Speed2 | 2000 mm/s |
| 最大加速度\Maximum Acceleration2 | 2g |
备注：
（1）适配-ASH反馈，配置线性放大器；
（2）空载，需配置相应功率的放大器，最大速度受限于反馈分辨率；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。
（5）为了防止空气轴承气压不足，建议安装气压开关，信号输入到运动控制器连接急停（E-STOP）端口。
