ZTT-V2系列

·升降(Z)和调平（Tip-tilt）一体平台
·采用球形铰链结构，多轴联动控制
·结构紧凑，侧面高度低
·Z向微动步距20nm，Tip-tilt微动步距0.05 arc sec
·采用直线电机驱动，具备较好的动态性能

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ZTT-V2是垂直升降与水平调平三轴一体式精密定位平台，利用直线电机驱动，采用精密球形铰链耦合，具备非常优秀的微动精度和动态性能。整体高度小，尺寸精巧，刚性高，负载能力可达10kg，兼容洁净室环境使用。

ZTT-V2在具备点到点静态定位精度的同时，还具备非常突出的动态精度，可以适应对微动和动态跟随误差要求严格的晶圆检测、光学对准、面板检测或者无掩膜光刻等应用，根据传感器聚焦高度实时调整高度和角度姿态，全方位解决客户的运动控制难题。

ZTT-V2平台最小步进测试

Z向20nm步进

各轴在位稳定性

轴名称	Z	θx	θy
有效行程\Travel	5mm	2°	2°
定位精度\Accuracy	±0.3 μm	NA	NA
重复定位精度\Bi-Repeatability	±0.1 μm	±0.1 arcsec	±0.1 arcsec
最大速度\Maximum Speed（1）	20 mm/s	NA	NA
最大加速度\Maximum Acceleration（1）	1 g	NA	NA
最小步进量\Minimum Incremental step（2）	20nm	0.05 arcsec	0.05arcsec
最大负载\Load Capacity	10 kg
平台重量\Stage Mass	8 kg
平台材质\Material	铝
平均无故障时间\MTBF	27,000 Hours