CUBE-4系列

CUBE-4是XYZT 4轴一体式精密定位平台，XYZ采用直线电机驱动，选用精密交叉滚柱导轨，具备非常优秀的性能和定位精度，XY轴空载截止频率最大可达120Hz以上，具备很好的速度稳定性，在4轴叠加的台面上方利用干涉仪5K的采样频率测试CUBE-4 匀速段位置误差，每0.5mm 位置动态跟随误差STD标准差小于50nm。Z轴空载截止频率可达200Hz以上。Theta轴采用旋转直驱电机，配备圆形导轨和光栅，兼具高转速和高精度。此外，Theta轴采用下沉隐藏式设计，使得CUBE-4整体高度较低，工作点下降有利于实际应用中提高绝对定位精度。

此外，Z轴可在30ms内步进100μm，整定到±50nm。CUBE-4是一款兼具点到点的静态精度，同时具备非常突出的动态精度，可以适应对动态误差要求严格的生物或者晶圆检测扫描应用，Z轴可以根据传感器工作距高度实时高速调整，全方位解决客户的运动控制难题。

CUBE-4系列四轴平台动态性能测试

干涉仪5k采样频率动态测试：XY匀速段位置跟随误差，每0.5mm STD标准差小于50nm

CUBE-4系列四轴平台最小步进测试

Z轴步进100μm ，30ms内整定到±50nm

备注：

（1）平行或垂直于楔形块方向测量；

（2）空载测试；

（3）沿轴线方向受力；

（4）适配-AS反馈，配置线性放大器；

（5）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；

（6）其他行程可定制。

备注：

（1）单位：mm；

（2）线缆接头未显示；

（3）完整3D图纸可官网下载。

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