Surface-Theta系列

Surface-Theta系列

分类:机械直驱转台
特点:高精密360度连续旋转直驱转台 结构紧凑,低侧向高度 重负载高精度转台 (可水平或侧向安装使用) 可选数字量或模拟量高精度圆光栅位置反馈 无刷无齿槽伺服电机直驱,转速超过400rpm 0.05角秒最小步进(实验室环境,配置线性放大器),±1角秒重复性 丰富的配置选项,可选气管和旋转单元
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Surface-Theta系列是高精度的360度连续转台,采用旋转电机直驱控制,具备非常优秀的动态性能和定位精度。Surface-Theta系列转台采用杰出的工业化设计,外观精致布局合理,具有侧向高度低的优点,适用于空间紧凑型应用。选用高精度圆光栅位置反馈,定位精度±2角秒,重复性小于±1角秒,最大水平负载可达30kg,最大侧向安装负载可达10kg,机械性能非常突出。


Surface-Theta系列采用大直径圆形轴承设计,系统刚性强,重复性好,重负载使用条件小也不会损失性能。配置线性放大器,带隔振实验室环境下,Surface-Theta系列转台的在位稳定性和最小步进量小于0.05角秒。


Surface-Theta系列转台具备灵活的配置选项,客户可以选择模拟量反馈或者数字量反馈,针对半导体客户的应用要求,Surface-Theta系列为客户提供了旋转单元和气管选项,有效地解决了360°连续旋转绕线问题。由于Surface-Theta系列转台具备侧向高度低、定位精度和重复性好、带负载能力强的特点,它被广泛使用在半导体检测和封装等场合。


SurfaceTheta 转台在位稳定性和最小步进测试

在位稳定性测试优于±0.000014°(±0.05角秒)(实验室环境,线性放大器)

0.0000135°(0.05角秒)最小步进测试(实验室环境,配置线性放大器)

0.000027°(0.1角秒)最小步进测试(实验室环境,配置线性放大器)


平台型号\ModelSurface-Theta
转台行程 \Travel Range360°
载物台直径 \Tabletop Diameter143.5mm
转角精度 \Accuracy(1)±2 arc sec
最小步进 \Minimal Incremental Step(1)0.5 arc sec
重复性 \Repeatability(1)±1 arc sec
摆角 \Tilt Error20 arc sec
轴跳 \Axial Error Motion5 μm
径跳 \Radial Error Motion5 μm
平台重量\Stage Mass4kg
最大负载\Max Load轴向 \Axial30 kg
径向 \Radial10 kg
最高空载速度 \ Maximum Speed(2)400rpm (2400°/s)
平台材质\Material
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours

备注:

(1)适配-AS圆光栅反馈;

(2)空载指标,最高速度取决于反馈分辨率、实际负载、驱动器。

(3)默认测试点位置为台面上方25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关。


备注:

(1)单位:mm;

(2)完整3D图纸可官网下载。


产品配置选项

产品系列反馈旋转单元
Surface-Theta-AS
-TTL50
-RU1

反馈选项

-ASVPP 1伏正弦模拟量输入
-TTL50TTL 50倍细分

旋转单元选项

-RU1一个旋转单元

备注:

其他旋转单元数量可定制(例如RU2、RU3)。


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