| 平台型号\Model | ART95LZ-025 | ART95LZ-050 |
| 有效行程\Travel | 25 mm | 50 mm |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±150 nm | ±150 nm |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±100 nm | ±100 nm |
| 单向重复定位精度\Uni-Repeatability | ±45 nm | ±45 nm |
| 俯仰\Pitch | 10 arc sec | 10 arc sec |
| 偏摆\Yaw | 5 arc sec | 5 arc sec |
| 直线度\Straightness | ±1.5 µm | ±2 µm |
| 平面度\Flatness | ±2.5 µm | ±3.0 µm |
| 移动部分重量\Moving Mass | 0.5 kg | 0.6 kg |
| 平台重量\Stage Mass | 2.0 kg | 2.5 kg |
| 最大负载\Load Capacity | 5 kg |
| 分辨率\Resolution（1） | 1 nm |
| 最小步进量\Minimum Incremental step（1） | 5 nm |
| 在位稳定性\In Position Stability （1） | 3 nm |
| 最大速度\Maximum Speed（2） | 250 mm/s |
| 最大加速度\Maximum Acceleration（2） | 1 g |
| 最大持续推力\Maximum Continuous Force | 21 N |
| 最大峰值推力\Maximum Peak Force | 147 N |
| 平台材质\Material | 铝 |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours |
备注：
（1）适配-ASH反馈，线性放大器；
（2）空载，需配置相应功率的放大器；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。
（5）其他行程可定制。
