ART180系列是纳米级定位精度的运动平台，直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。ART180系列平台行程可以根据客户需求定制，可作为单轴运动平台使用，还可以与ART130系列水平直线平台，ART130V-5系列升降台或者RSML系列转台搭配使用，组成不同的多轴配置来满足客户应用。
ART180系列平台有较强的承载能力和驱动能力，最大水平负载30kg，侧向负载可达20kg，最大速度可达800mm/s，最大空载加速度可达2g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART180系列平台的在位稳定性3nm和最小步进量可以小于5nm，ART180系列平台是兼顾运动精度、大行程、高动态性能和较强带载能力的综合性纳米定位平台，主要应用于通讯、表面轮廓检测、高精密贴片、组装、半导体晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序等。可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
精巧的结构设计和保证了ART180系列平台出色的精度和动态性能，特别是在速度稳定性要求苛刻的应用中，它的优异性能得到了很好的体现，例如在扫描检测应用中，要求直线轴匀速20mm/s，运动距离130mm，ART180系列平台匀速段动态跟随误差<±100nm，能出色的完成项目任务。
ART180系列平台最小步进和在位稳定性测试
5nm最小步进（ASH反馈选项，配置线性放大器）
<3nm在位稳定性（ASH反馈选项，配置线性放大器）
