ART130XY系列

·纳米级的定位精度
·高动态性能（截止频率大于100Hz）
·交叉滚柱轴承
·灵活的配置选项（XY可定制不等距行程）
·结构紧凑，XY一体式设计
·分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±250nm
·在位稳定性3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）

分类：直线电机机械台
品牌：Coretech

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ART130XY系列是纳米级定位精度的XY一体式运动平台，直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。它采用XY一体式设计，具有低侧面高度、阿贝误差小的特点，XY行程可以根据客户需求定制，可作为二维运动平台单独使用，也可以与ART130LZ、ART130-5V升降台或者RSML系列转台搭配使用，组成不同的多轴配置来满足客户应用。

ART130XY系列平台虽然结构紧凑但是有较强的驱动能力，最大速度可达500mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART130XY系列平台的在位稳定性3nm和最小步进量可以小于5nm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及激光微纳加工等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

精巧的结构设计保证了ART130XY系列平台出色的精度和动态性能，特别是在速度稳定性要求苛刻的应用中，它的优异性能得到了很好的体现，例如在扫描检测应用中，要求直线轴匀速20mm/s，运动距离130mm，ART130XY系列平台匀速段动态跟随误差<±100nm，能出色的完成项目任务。

ART130XY系列平台最小步进和在位稳定性测试

5nm最小步进（ASH反馈选项，配置线性放大器）

<3nm在位稳定性（ASH反馈选项，配置线性放大器）

平台型号\Model		ART130XY-060-060	ART130XY-110-110	ART130XY-160-160
有效行程\Travel		60mm*60mm	110mm*110mm	160mm*160mm
绝对定位精度\Accuracy		±250 nm	±300 nm	±300 nm
双向重复定位精度\Bi-Repeatability		±100 nm	±100 nm	±100 nm
单向重复定位精度\Uni-Repeatability		±45 nm	±45 nm	±45 nm
俯仰\Pitch		10 arc sec	12 arc sec	18 arc sec
偏摆\Yaw		10 arc sec	12 arc sec	18 arc sec
正交性\Orthogonality（1）		10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec
直线度\Straightness		±1.5 µm	±2 µm	±2.5 µm
平面度\Flatness		±1.5 µm	±2 µm	±2.5 µm
移动部分重量\Moving Mass	上轴\Upper	1.7 kg	2.3 kg	2.6 kg
	下轴\Lower	4.4 kg	5.9 kg	7.1 kg
平台重量\Stage Mass		6.1 kg	7.9 kg	9.4 kg
最大负载\Load Capacity		12.0 kg
分辨率\Resolution		1 nm
最小步进量\Minimum Incremental step（2）		5 nm
在位稳定性\In Position Stability（2）		3 nm
最大速度\Maximum Speed（3）		500 mm/s
最大加速度\Maximum Acceleration （3）		1 g
持续推力\Continuous Force		24.4 N
峰值推力\Peak Force		170.4 N
平台材质\Material		铝
平均无故障时间\MTBF		27,000 Hours

平台型号\Model			ART130XY-110-060	ART130XY-160-060	ART130XY-160-110	ART130XY-200-070
有效行程\Travel			110mm*60mm	160mm*60mm	160mm*110mm	200mm*70mm
绝对定位精度\Accuracy	上轴\Upper Axis		±250 nm	±250 nm	±300 nm	±250 nm
	下轴\Lower Axis		±300 nm	±300 nm	±300 nm	±300 nm
双向重复定位精度\Bi-Repeatability			±100 nm	±100 nm	±100 nm	±100 nm
单向重复定位精度\Uni-Repeatability			±45 nm	±45 nm	±45 nm	±45 nm
俯仰\Pitch			10 arc sec	12 arc sec	14 arc sec	18 arc sec
横滚\Roll			10 arc sec	12 arc sec	14 arc sec	18 arc sec
偏摆\Yaw			10 arc sec	12 arc sec	14 arc sec	18 arc sec
正交性\Orthogonality（1）			10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec
直线度\Straightness			±1.5 µm	±2 µm	±2.5 µm	±2.5 µm
平面度\Flatness			±1.5 µm	±2 µm	±2.5 µm	±2.5 µm
移动部分重量\Moving Mass		上轴\Upper	1.7 kg	1.7 kg	2.3 kg	1.8 kg
		下轴\Lower	4.4 kg	4.4 kg	5.9 kg	4.5 kg
平台重量\Stage Mass			7.1 kg	7.8 kg	8.7 kg	9.4 kg
最大负载\Load Capacity			10.0 kg
分辨率\Resolution			1 nm
最小步进量\Minimum Incremental step（2）			10 nm
在位稳定性\In Position Stability （2）			±10 nm
最大速度\Maximum Speed （3）			350 mm/s
最大加速度\Maximum Acceleration（3）			1 g
持续推力\Continuous Force			24.4 N
峰值推力\Peak Force			170.4 N
平台材质\Material			铝
平均无故障时间\MTBF			27,000 Hours

备注：

（1）经过定制2D校准后，正交性可达到 5 arc sec；

（2）适配-ASH反馈，线性放大器；

（3）空载，需配置相应功率的放大器；

（4）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；

（5）其他行程可定制。

型号 BASIC MODEL	标称行程 NOMINAL TRAVEL	A1	A2	B
ART130-060-060-XY	60,60	180	180	150
ART130-110-110-XY	110,110	230	230	100,200
ART130-160-160-XY	160,160	280	280	150,250
ART130-110-060-XY	110,60	230	180	150
ART130-160-060-XY	160,60	280	180	100,200
ART130-160-110-XY	160,110	280	230	150,250
ART130-200-070-XY	200,70	320	190	150,250

备注：

(1)单位：mm；

(2)线缆接头未显示；

(3)非对称XY行程图纸未显示。

(4)完整3D图纸可官网下载。

产品配置选项

产品系列	行程（mm）	反馈
ART130XY	-060-060	-AS -ASH -TTL005 -TTL010 -TTL020
	-110-110
	-160-160
	-110-060
	-160-060
	-160-110
	-200-070

行程选项

-060-060	60 mm X 60mm行程
-110-110	110mmX110mm行程
-160-160	160mmX160mm行程
-110-060	110mmX 60mm行程
-160-060	160mmX 60mm行程
-160-110	160mmX110mm行程
-200-070	200mmX70mm行程

反馈选项

-AS	VPP 1伏正弦模拟量输入
-ASH	高精度VPP 1伏正弦模拟量输入
-TTL005	5nm分辨率数字量TTL信号输入
-TTL010	10nm分辨率数字量TTL信号输入
-TTL020	20nm分辨率数字量TTL信号输入