CFT-XY系列

分类：直线电机机械台-XY
特点：XY一体式设计直驱平台双轴四电机驱动，动态性能出色交叉滚柱导轨结构紧凑，低侧面高度，阿贝误差小 200mm200mm和300mm300mm行程可选分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±300nm 在位稳定性3nm（配置ASH反馈选项和线性放大器）多种反馈选项

了解更多联系我们

产品详情

产品规格

产品尺寸

选型信息

资料下载

CFT-XY是纳米级定位精度的XY一体式精密定位平台，直线电机直驱控制，采用精密交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率最大可达100Hz以上。CFT-XY系列平台有杰出的工业化设计，外观设计及几何尺寸非常合理，同时全行程平面度和直线度小于±1.5μm。其中CFT-200XY系列平台动态性能极佳，以40mm/s的速度做直径2.2mm的圆形轨迹运动，动态跟随误差小于0.5μm，是精密激光加工和飞拍扫描检测的首选平台。

CFT-X系列平台结构精致，有较强的驱动能力，上轴最大速度800mm/s，空载加速度可达1g。采用线性放大器和ASH反馈，实验室环境做好振动隔离的前提下，CFT-XY系列平台的在位稳定性小于3nm，最小步进量小于5nm，可用于测量检测、表面粗糙度检测、激光切割等需要纳米级定位精度的工业和科研项目。

CFT-XY在位稳定和最小步进测试

5nm最小步进（ASH反馈选项，配置线性放大器）

<3nm在位稳定性（ASH反馈选项，配置线性放大器）

型号	CFT-200XY	CFT-300XY
有效行程\Travel	200mm*200mm	300mm*300mm
绝对定位精度\Accuracy	±0.3 μm	±0.5 μm
双向重复定位精度\Bi-Repeatability	±0.1 μm	±0.15 μm
俯仰\Pitch	15 arc sec	18 arc sec
偏摆\Yaw	8 arc sec	10 arc sec
直线度\Straightness	±1.5 μm	±2 μm
平面度\Flatness	±1.5 μm	±2 μm
正交性\Orthogonality (1)	15 arc sec	15 arc sec
最大速度\Maximum Speed （2）	800 mm/s	800 mm/s
最大加速度\Maximum Acceleration （2）	1.5 g	1.5 g
持续推力\Continuous Force	48.8 N	163.6 N
峰值推力\Peak Force	340.8 N	1013.2 N
最大负载\Load Capacity	20 kg	30 kg
平台重量\Stage Mass(No Motor)	27.9 kg	70 kg
电子分辨率\Resolution （3）	1 nm
最小步进量\Minimum Incremental step（3）	5 nm
在位稳定性\In Position Stability （3）	3 nm
平台材质\Material	铝
平均无故障时间\MTBF	27,000 Hours

备注：

（1）经过定制2D校准后，正交性可达到 5 arc sec；

（2）空载，需配置相应功率的放大器；

（3）适配-ASH反馈，线性放大器；

（4）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；

（5）其他行程可定制。

CFT-200XY

CFT-300XY

备注：

（1）单位：mm；

（2）线缆管理未显示；

（3）完整3D图纸可官网下载。

产品配置选项

产品系列

行程

反馈

CFT

-200XY

-300XY

-AS

-TTL005

-TTL010

-TTL020

-TTL100

-ASH

行程选项

-200XY	200mmx200mm行程
-300XY	300mmx300mm行程

反馈选项

-AS	VPP 1伏正弦模拟量输入
-TTL005	5nm分辨率数字量TTL信号输入
-TTL010	10nm分辨率数字量TTL信号输入
-TTL020	20nm分辨率数字量TTL信号输入
-TTL100	0.1μm分辨率数字量TTL信号输入
-ASH	高精度VPP 1伏正弦模拟量输入

CFT-XY系列产品选型手册‍‍

CFT-XY.pdf

相关产品

—

AB100/150系列

Tilt/Yaw双轴直驱转台 A轴（Tilt）行程110度,B轴（Yaw）行程360度连续旋转无刷无齿槽伺服电机，速度稳定性优越高精度圆光栅位置反馈 B轴（Yaw）转速超过1000rpm ±3arc sec定位精度，±1 arc sec 重复性 AB 轴一体化高刚性设计

联系我们

ACT85LM系列

直驱电机高精度定位平台高性能低成本解决方案坚固的机械结构灵活的配置选项（不同的行程与反馈）行程范围50mm到800mm 最大速度可达2000mm/s，最大加速度可达2g 可配置双动子，提高产能和效率可选单侧或双侧线缆管理

联系我们

ALP系列

无槽，无刷伺服直驱电机驱动优化设计，最大限度地减少轴向、径向和倾斜误差运动具有出色的定位性能、速度稳定性和高分辨率反馈非接触式气浮轴承，有助于超精确运动性能低高度扁平化设计，可带4路气管旋转单元亚角秒级别定位精度小于250nm轴向和径向跳动

联系我们

ART95LZ系列

纳米级的定位精度结构紧凑，适合对空间尺寸有着较高要求的应用交叉滚柱导轨灵活的配置选项（不同行程和反馈）分辨率1nm，重复定位精度±100nm，绝对定位精度±150nm 在位稳定性3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）

联系我们

ART95SZ系列

纳米级的定位精度零摩擦双气缸配重，高动态性能（截止频率大于100Hz）交叉滚柱导轨灵活的配置选项（不同行程和反馈）分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±150nm 在位稳定性3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）

联系我们

ART95XYZ系列

纳米级的定位精度零摩擦气缸配重，高动态性能（截止频率大于100Hz）交叉滚柱导轨灵活的配置选项（不同的行程和反馈）结构紧凑，XYZ一体式设计分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±200nm 在位稳定性3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）

联系我们

ART95XY系列

纳米级的定位精度高动态性能（截止频率大于100Hz）交叉滚柱导轨灵活的配置选项（XY可定制不等距行程）结构紧凑，XY一体式设计分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±150nm 在位稳定性3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）

联系我们

ART95系列

纳米级的定位精度高动态性能（截止频率大于100Hz）交叉滚柱导轨灵活的配置选项（不同行程和反馈）分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±200nm 在位稳定性3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）

联系我们

电话：0510-68501337 传真 : 0510-68501375 邮箱：sales@coretech-revolution.com 网址：www.coretech-revolution.com 地址：无锡市新吴区锡泰路216号坤鼎未来智造园6号楼

产品中心

应用中心

资源中心

关于我们

关注微信公众号