“地心科技CFTCA系列高精度大中空二维运动平台,因为其出色的稳定性,最小步进能力,在显微成像设备,特别是光刻掩膜版检测应用中被广泛使用。” 地心科技,对精度的追求永无止境。01 光刻技术光刻技术是一种常用于半导体制造过程中的关键技术。它是通过使用光刻机将设计好的芯片图形投射到半导体材料表面,并进行一系列加工步骤,最终形成微米纳米级别的芯片结构。光刻技术的基本原理是利用光的特性,通过光源、掩...
“地心科技FAP系列高速高精度六轴一体式精密运动平台,因为其出色的运动重复性,最小步进能力,在光纤耦合设备中完美应对高速螺旋轨迹找光难题,在硅光耦合设备中被广泛使用。” 地心科技,对精度的追求永无止境。01 光模块耦合技术 光通信是以光信号为载体,以光纤作为传输介质,实现信息传递的系统。光通信网络建设的本质驱动是快速且持续增长的数据流量需求。随着数据流量不断增长,传统承载网的数据传...
“地心科技CFT系列高速高精度XY一体式精密运动平台,因为其出色的动态性能,在微纳直写光刻应用中完美应对高速高精度对准难题,在泛半导体直写光刻设备中被广泛使用。” 地心科技,对精度的追求永无止境。01 直写光刻技术在半导体领域,目前IC及FPD制造光刻设备主要为掩膜光刻设备。我们经常听到的EUV光刻机,就是掩膜光刻设备。根据有关媒体的报导, ASML公司表示,一台High-NA EUV光刻机...
“地心科技高精密直线运动台SMH225LM,搭配RAB系列高精度气浮转台,完美实现晶圆缺陷检测应用中的螺旋线运动,并实现了等弧长触发高速相机采集图像,在晶圆缺陷检测领域发挥重要作用。” 地心科技,追求精度,永无止境。01 晶圆缺陷检测晶圆缺陷光学检测一直是一个长期伴随IC制造发展的工程问题。晶圆缺陷检测要准确识别出晶圆的缺陷,并得到缺陷的具体信息,包括缺陷的位置,面积大小等等;满足大规模工业...
“地心科技高精密XY一体式直线运动台ONEXY系列,搭配SurfaceZ系列高精度升降台,完美实现晶圆缺陷检测应用中的快速自动追焦难题,并实现了等间距触发高速相机采集图像,在晶圆缺陷检测领域发挥重要作用。” 地心科技,对精度的追求永无止境。01 晶圆缺陷AOI检测晶圆缺陷光学检测一直是一个长期伴随IC制造发展的工程问题。晶圆缺陷检测要准确识别出晶圆的缺陷,如空隙,凹陷,划痕等;并要求得到缺陷...
“地心科技高精度XYZT 4轴精密定位平台,兼具静态精度与动态精度,完美实现基因测序应用中的快速自动追焦和等间隔触发,在基因测序仪中被广泛使用。” 地心科技,对精度的追求永无止境。01 基因测序技术1977年,Walter Gilbert和Frederick Sanger发明了第一台基因测序仪,并应用其测定了第一个基因组序列,噬菌体X174,全长5375个碱基。由此开始,人类获得了探索生命遗...
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